单晶硅表面摩擦诱导纳米凸结构的摩擦学性能表征
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·纳米科学技术概论 | 第10-12页 |
| ·纳米制造概述及发展现状 | 第12-15页 |
| ·摩擦诱导纳米加工及其研究现状 | 第15-18页 |
| ·本文的研究目的、意义及内容 | 第18-20页 |
| ·论文的研究目的及意义 | 第18-19页 |
| ·论文的研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 实验材料和方法 | 第20-27页 |
| ·实验材料 | 第20页 |
| ·实验仪器 | 第20-24页 |
| ·原子力显微镜 | 第20-22页 |
| ·纳米压痕/划痕仪 | 第22-24页 |
| ·分析方法 | 第24-27页 |
| ·表面形貌分析 | 第24-25页 |
| ·理论分析方法 | 第25-27页 |
| 第3章 隆起表面的摩擦力 | 第27-31页 |
| ·实验方法 | 第27-29页 |
| ·实验结果及讨论 | 第29-30页 |
| ·真空环境下的粘着力和摩擦力 | 第29页 |
| ·大气环境下的粘着力和摩擦力 | 第29-30页 |
| ·本章结论 | 第30-31页 |
| 第4章 隆起表面的磨损行为 | 第31-47页 |
| ·实验方法 | 第31-32页 |
| ·实验结果 | 第32-38页 |
| ·面隆起 | 第32页 |
| ·隆起和原始硅表面的划痕实验 | 第32-36页 |
| ·隆起上不同方向的划痕实验 | 第36-37页 |
| ·隆起上的"隆起" | 第37-38页 |
| ·讨论及隆起硬度的估算 | 第38-40页 |
| ·不规则隆起 | 第40-44页 |
| ·隆起产生的临界应力 | 第44-45页 |
| ·本章结论 | 第45-47页 |
| 第5章 隆起在氢氟酸中的选择性刻蚀 | 第47-51页 |
| ·实验方法 | 第47-48页 |
| ·实验结果及讨论 | 第48-50页 |
| ·面隆起 | 第48页 |
| ·选择性刻蚀 | 第48-50页 |
| ·本章结论 | 第50-51页 |
| 结论与展望 | 第51-53页 |
| 1.本文的主要结论 | 第51页 |
| 2.研究展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58页 |
