通信MEMS射频接触式开关的设计与制作技术研究
| 第一章 引言 | 第1-19页 |
| ·课题的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·RF MEMS开关的研究状况 | 第11-17页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 RF MEMS接触式开关的设计基础 | 第19-25页 |
| ·RF MEMS开关的设计和制作流程 | 第19-21页 |
| ·RF MEMS开关的几个设计考虑 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 RF MEMS接触式开关的设计和仿真 | 第25-43页 |
| ·RF MEMS开关的基本结构 | 第25-26页 |
| ·RF MEMS开关设计的几个关键尺寸 | 第26-27页 |
| ·RF MEMS开关仿真 | 第27-28页 |
| ·RF MEMS开关的力学仿真 | 第28-34页 |
| ·RF MEMS开关的微波性能仿真 | 第34-39页 |
| ·本章总结 | 第39-40页 |
| 第三章附录：仿真说明 | 第40-43页 |
| 第四章 RF MEMS开关的工艺研究 | 第43-58页 |
| ·RF MEMS开关版图及工艺简介 | 第43页 |
| ·RF MEMS开关的工艺流程 | 第43-47页 |
| ·聚酰亚胺牺牲层工艺 | 第47-51页 |
| ·Ⅰ版开关存在问题的初步研究 | 第51-54页 |
| ·Ⅱ版开关设计中的改进 | 第54-56页 |
| ·MEMS开关制作工艺总结 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 RF MEMS开关的测试结果与分析 | 第58-62页 |
| ·RF MEMS开关的力学性能测试 | 第58页 |
| ·RF MEMS开关的微波性能测试 | 第58-60页 |
| ·RF MEMS开关有待解决的问题 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 硕士期间文章发表 | 第68-69页 |
| 后记 | 第69页 |
