| 1 绪论 | 第1-29页 |
| ·等离子体简介 | 第7页 |
| ·等离子体的诊断方法 | 第7-17页 |
| ·探针法 | 第7-8页 |
| ·光谱法 | 第8-16页 |
| ·发射光谱法 | 第9-13页 |
| ·激光诱导荧光 | 第13-14页 |
| ·激光诱导荧光法测量气体温度 | 第13-14页 |
| ·速度调制激光光谱技术 | 第14-16页 |
| ·质谱法 | 第16-17页 |
| ·等离子体的产生方式 | 第17-24页 |
| ·微波放电 | 第17-21页 |
| ·高频放电 | 第21-23页 |
| ·直流放电 | 第23-24页 |
| ·本论文的主要内容 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-29页 |
| 2 实验装置和实验过程 | 第29-33页 |
| ·实验装置 | 第29-31页 |
| ·微波发生及传输系统 | 第29-30页 |
| ·微波放电系统 | 第30页 |
| ·配气和抽气系统 | 第30-31页 |
| ·发射光谱测量系统 | 第31页 |
| ·水冷系统 | 第31页 |
| ·实验过程简述 | 第31-33页 |
| 3 实验结果及讨论 | 第33-39页 |
| ·纯氢气条件下氢原子的谱线强度随气体流量的变化 | 第33-34页 |
| ·氩(3.54％)+氢微波等离子体中谱线强度随压力的变化 | 第34-35页 |
| ·氩(3.54％)+氢微波等离子体中谱线强度随输入功率的变化 | 第35-36页 |
| ·等注入功率情况下，氩(3.54％)+氢微波等离子体中谱线强度比随气压的变化 | 第36-37页 |
| ·等功率密度下，氩(3.54％)+氢微波等离子体中谱线强度比随气压的变化 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-39页 |
| 4 氢分子解离率的计算 | 第39-54页 |
| ·前言 | 第39-40页 |
| ·基态氢原子浓度计算公式推导 | 第40-43页 |
| ·激发截面的计算 | 第43-47页 |
| ·发射光谱法测定电子直接激发截面 | 第44-45页 |
| ·电子能量损失谱测定电子直接激发截面 | 第45-47页 |
| ·电子能量损失谱仪 | 第45-46页 |
| ·微分散射截面 | 第46页 |
| ·积分散射截面和全截面 | 第46-47页 |
| ·氢分子解离激发的影响 | 第47页 |
| ·氢气解离率的计算 | 第47-49页 |
| ·激发态Ar(750.3nm)和H(n=3)与H_2分子碰撞的淬灭速率常数的计算 | 第49-50页 |
| ·不同气体温度下氢气分子的解离率 | 第50页 |
| ·放电小球中氢原子的空间分布 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-55页 |
| ·实验总结 | 第54页 |
| ·问题与展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 附录A | 第56-58页 |
| 附录B | 第58-60页 |
| 附录C | 第60-62页 |
| 附录D | 第62-64页 |
| 附录E | 第64-66页 |
