铁酸锶和钛酸锶薄膜氧敏性能的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-28页 |
| ·研究背景 | 第8-10页 |
| ·应用于汽车的氧传感器类型 | 第10-15页 |
| ·氧化物半导体型传感器的种类 | 第15-16页 |
| ·三种传感器比较 | 第16-17页 |
| ·薄膜型氧化物半导体传感器的制备方法 | 第17-18页 |
| ·半导体氧化物氧敏原理 | 第18-22页 |
| ·氧化物半导体传感器的研究现状 | 第22-23页 |
| ·钛酸锶的晶体结构 | 第23-26页 |
| ·展望 | 第26-28页 |
| 第二章 问题的提出及研究思路 | 第28-30页 |
| ·问题的提出 | 第28页 |
| ·研究思路 | 第28-30页 |
| 第三章 实验过程 | 第30-33页 |
| ·实 验 原 料 | 第30页 |
| ·配方设计 | 第30-31页 |
| ·工艺流程 | 第31页 |
| ·性能测试 | 第31-33页 |
| 第四章 结果与讨论 | 第33-49页 |
| ·铁酸锶薄膜的制备 | 第33-36页 |
| ·薄膜的扫描电镜分析(SEM) | 第36-39页 |
| ·拉膜次数对铁酸锶氧敏性能的影响 | 第39-42页 |
| ·掺杂对铁酸锶的氧敏性能影响 | 第42-47页 |
| 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 双掺杂钛酸锶氧敏性能 | 第49-61页 |
| ·受主掺杂对钛酸锶氧敏性能的影响 | 第49-50页 |
| ·钛酸锶薄膜的制备 | 第50-53页 |
| ·钛酸锶SEM分析 | 第53-57页 |
| ·钛酸锶薄膜氧敏性能 | 第57-60页 |
| 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 电极对材料氧敏性能的影响 | 第61-63页 |
| 第七章 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 发表论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
