| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 1 引言 | 第9-12页 |
| ·研究背景 | 第9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·本论文的主要内容和安排 | 第10-12页 |
| 2 激光与物质相互作用的基础理论 | 第12-20页 |
| ·长脉冲激光作用半导体材料的热效应解析模型介绍 | 第12-14页 |
| ·热传导方程和基本热物理参数 | 第12-13页 |
| ·长脉冲激光辐照半导体材料的热模型 | 第13-14页 |
| ·长脉冲激光辐照半无限大固体模型 | 第13-14页 |
| ·长脉冲激光加热有限厚薄板的热源模型 | 第14页 |
| ·超短激光对半导体及其器件的破坏机理分析 | 第14-20页 |
| ·飞秒激光简介 | 第14-15页 |
| ·超短激光破坏机理 | 第15-17页 |
| ·能量吸收和热效应 | 第16页 |
| ·表面汽化 | 第16页 |
| ·微结构的改变 | 第16页 |
| ·力学破坏 | 第16-17页 |
| ·非线性过程 | 第17页 |
| ·超短激光脉冲辐照下半导体材料的破坏计算模型及其分析 | 第17-20页 |
| ·速率方程模型 | 第17页 |
| ·双温模型 | 第17-18页 |
| ·分子动力学模拟 | 第18页 |
| ·热电子爆炸模型 | 第18页 |
| ·热弹性变形模型 | 第18-20页 |
| 3 长脉冲激光辐照半导体材料热效应分析 | 第20-29页 |
| ·余弦高斯光束辐照下光学元件热效应分析 | 第20-23页 |
| ·余弦高斯光束与光学元件的物理模型 | 第20-21页 |
| ·数值计算与讨论 | 第21-23页 |
| ·小结 | 第23页 |
| ·半导体材料的热传导数值计算模型 | 第23-29页 |
| ·半导体材料的热传导差分模型 | 第23-24页 |
| ·计算结果与分析 | 第24-28页 |
| ·小结 | 第28-29页 |
| 4 超短脉冲激光烧蚀半导体的热效应分析 | 第29-39页 |
| ·超短脉冲激光烧蚀半导体的物理模型 | 第29-33页 |
| ·双温方程的数值计算 | 第30-31页 |
| ·计算结果与讨论 | 第31-33页 |
| ·小 结 | 第33页 |
| ·重复脉冲超短激光辐照下半导体材料的热效应分析 | 第33-37页 |
| ·单脉冲超短激光激辐照下半导体材料的情形 | 第33-35页 |
| ·多脉冲超短激光激辐照下半导体材料的情形 | 第35-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| ·飞秒、皮秒、纳秒脉冲激光辐照下半导体材料的热效应分析 | 第37-39页 |
| ·计算结果与讨论 | 第37-38页 |
| ·小 结 | 第38-39页 |
| 5 超短脉冲激光辐照光电探测器热效应分析 | 第39-49页 |
| ·光电探测器的基本类型和工作原理 | 第39-43页 |
| ·光电导型光电探测器的工作原理 | 第39-42页 |
| ·光伏型光电探测器的工作原理 | 第42-43页 |
| ·超短激光辐照下光电导型光电探测器的瞬变过程 | 第43-49页 |
| ·超短激光与光电导型光电探测器相互作用的物理模型 | 第43-45页 |
| ·计算结果与分析 | 第45-47页 |
| ·小结 | 第47-49页 |
| 6 总结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |