自动铟封设备控制系统的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·温度控制的国内外研究现状及发展 | 第10-14页 |
| ·温度控制的国外研究现状及发展 | 第11-12页 |
| ·温度控制的国内研究现状及发展 | 第12-14页 |
| ·力控制技术的研究现状 | 第14-16页 |
| ·虚拟仪器技术 | 第16-18页 |
| ·课题研究目的及主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 电极自动铟封系统的整体架构 | 第20-34页 |
| ·电极自动铟封系统的搭建 | 第20-25页 |
| ·铟热压焊法压封工艺概述 | 第20-21页 |
| ·自动铟封系统设计难点 | 第21-22页 |
| ·系统作业原理 | 第22-23页 |
| ·系统硬件总体结构 | 第23-25页 |
| ·系统功能模块组成 | 第25-31页 |
| ·腔体安装与对准模块 | 第25-26页 |
| ·电极自动拾取与放置模块 | 第26-27页 |
| ·热压模块 | 第27-29页 |
| ·计算机控制模块 | 第29-31页 |
| ·温度与压力控制策略 | 第31-33页 |
| ·温度控制系统 | 第31页 |
| ·压力控制系统 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 电极自动铟封控制系统的软件设计 | 第34-55页 |
| ·Petri网在离散事件动态系统中的应用 | 第34-37页 |
| ·Petri网络的定义 | 第34-35页 |
| ·Petri网络的性质 | 第35页 |
| ·Petri网络模型分析方法 | 第35-36页 |
| ·Petri网络模型建模过程 | 第36-37页 |
| ·基于Petri网络的控制软件建模与设计 | 第37-44页 |
| ·系统控制体系结构 | 第37-38页 |
| ·软件架构 | 第38-40页 |
| ·基于Petri网络的模块调用模型 | 第40-41页 |
| ·Petri网络模型的安全性与死锁性分析 | 第41-42页 |
| ·系统工作流程建模及分析 | 第42-44页 |
| ·基于LabVIEW的软件实现 | 第44-52页 |
| ·基于LabVIEW的同步控制技术 | 第45-47页 |
| ·基于IMAQ Vision模块的图像采集 | 第47-49页 |
| ·基于LabVIEW的数据采集与存储 | 第49-51页 |
| ·基于LabVIEW的温控实现 | 第51-52页 |
| ·系统人机操作界面设计 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 4 自动铟封设备压封实验及应用效果 | 第55-63页 |
| ·腔体对准实验 | 第55-57页 |
| ·图像标定实验 | 第55-56页 |
| ·腔体对准重复性实验 | 第56-57页 |
| ·热压头温度控制实验 | 第57-58页 |
| ·热压头升温实验 | 第57-58页 |
| ·温度均匀性实验 | 第58页 |
| ·压力控制实验 | 第58-60页 |
| ·设备压封精度影响因素分析 | 第60-61页 |
| ·应用效果 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
