| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| ·化学镀铜技术的发展与应用 | 第9-11页 |
| ·化学镀铜技术的简介及发展 | 第9-10页 |
| ·化学镀铜技术的应用 | 第10-11页 |
| ·化学镀铜的原理 | 第11-16页 |
| ·化学镀铜的热力学原理 | 第11-14页 |
| ·化学镀铜的动力学原理 | 第14-16页 |
| ·化学镀铜的最新研究方向 | 第16-19页 |
| ·超声波辐射化学镀铜 | 第16-17页 |
| ·激光增强化学镀铜 | 第17-18页 |
| ·无钯催化化学镀铜 | 第18页 |
| ·无甲醛作为还原剂的化学镀铜 | 第18-19页 |
| ·本课题的研究背景及内容 | 第19-23页 |
| ·本课题的研究背景 | 第19-21页 |
| ·本课题的研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 参数估计和模型辨识 | 第23-29页 |
| ·概述 | 第23页 |
| ·过程模型化的基本步骤 | 第23页 |
| ·数据收集 | 第23-24页 |
| ·回归函数的初步分析 | 第24页 |
| ·利用统计分析方法对不同函数模型进行比较判断 | 第24-27页 |
| ·优化准则 | 第24页 |
| ·非线性回归分析和参数估计 | 第24-27页 |
| ·回归函数的精细度分析 | 第27-28页 |
| ·本章小节 | 第28-29页 |
| 第3章 FLUENT模拟微孔内填充过程 | 第29-51页 |
| ·研究方向的概述 | 第29-30页 |
| ·计算流体动力学(CFD)技术简介 | 第29-30页 |
| ·FLUENT软件简介 | 第30页 |
| ·FLUENT数值模拟的具体步骤 | 第30-31页 |
| ·数学模型的建立 | 第31-38页 |
| ·概述 | 第31-32页 |
| ·孔内扩散的控制方程研究 | 第32-34页 |
| ·孔内壁面的吸附模型的研究 | 第34-35页 |
| ·对建立的方程分析和分类 | 第35-37页 |
| ·边界条件的选择 | 第37-38页 |
| ·FLUENT前处理器GAMBIT | 第38-40页 |
| ·网格划分技术 | 第38-39页 |
| ·网格生成技术 | 第39-40页 |
| ·GAMBIT建模及网格划分 | 第40页 |
| ·FLUENT数值模拟 | 第40-49页 |
| ·处理网格 | 第40-41页 |
| ·计算模型 | 第41-43页 |
| ·自定义标量方程(User-Defined Scalars，UDS) | 第43页 |
| ·自定义函数(User-Defined Function，UDF) | 第43-47页 |
| ·边界条件的选择 | 第47页 |
| ·非稳态的浓度场分布 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 第4章 动网格模型 | 第51-63页 |
| ·简介 | 第51页 |
| ·动网格守恒方程 | 第51-52页 |
| ·动网格更新方法 | 第52-54页 |
| ·弹簧光滑模型 | 第52页 |
| ·动态层模型 | 第52-53页 |
| ·局部重划模型 | 第53-54页 |
| ·设定动网格参数 | 第54-56页 |
| ·定义动网格的运动方式 | 第56-57页 |
| ·微孔底部生长的动网格预览 | 第57-61页 |
| ·本章总结 | 第61-63页 |
| 第5章 全文总结以及工作展望 | 第63-65页 |
| ·全文的主要结论 | 第63页 |
| ·今后的工作展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第73页 |