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基于迈克尔逊干涉的傅里叶变换散斑形貌测量技术研究

中文摘要第1-8页
ABSTRACT第8-10页
第一章 绪论第10-17页
   ·激光散斑现象第10-13页
     ·激光散斑的形成及分类第10-11页
     ·激光散斑场的产生方法第11-13页
   ·激光散斑测量技术的起源与发展第13-14页
   ·三维形貌测量研究的意义和现状第14-16页
     ·三维形貌测量的意义第14-15页
     ·三维形貌测量的现状第15-16页
   ·本论文的主要工作第16-17页
第二章 电子散斑干涉测量技术第17-29页
   ·电子散斑干涉测量第17-21页
     ·电子散斑干涉测量的现状及发展前景第17-18页
     ·电子散斑干涉测量典型实验图第18-19页
     ·电子散斑干涉基本原理第19-21页
   ·电子散斑条纹图的频域滤波方法第21-22页
   ·位相测量技术第22-28页
     ·傅里叶变换法第23-24页
     ·相移方法第24-27页
     ·相位图的去包裹处理第27-28页
   ·小结第28-29页
第三章 电子散斑干涉场载频调制与解调技术第29-38页
   ·偏转物体法电子散斑干涉场空间调制原理第29-32页
   ·傅里叶变换法解调第32-34页
   ·频谱分离第34-37页
     ·频谱分离条件第34-36页
     ·频谱分离对偏转角度的要求第36-37页
   ·小结第37-38页
第四章 物体表面三维形貌测量技术第38-47页
   ·三维物体形貌测量技术简介第38-40页
   ·光学三维物体形貌测量技术第40-46页
     ·光学三角测量法第40页
     ·光切法测量第40-41页
     ·傅里叶变换投影栅线法第41-46页
   ·小结第46-47页
第五章 基于迈克尔干涉的散斑载频调制形貌测量技术第47-55页
   ·物体面形的傅里叶变换载波调制原理第47-50页
   ·傅里叶变换法解调第50页
   ·典型实验第50-53页
     ·实验系统第50-51页
     ·步进电机及驱动控制第51页
     ·实验测量第51-53页
   ·误差分析第53-54页
   ·结论第54-55页
参考文献第55-60页
攻读硕士学位期间发表的论文第60-61页
致谢第61页

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