基于迈克尔逊干涉的傅里叶变换散斑形貌测量技术研究
中文摘要 | 第1-8页 |
ABSTRACT | 第8-10页 |
第一章 绪论 | 第10-17页 |
·激光散斑现象 | 第10-13页 |
·激光散斑的形成及分类 | 第10-11页 |
·激光散斑场的产生方法 | 第11-13页 |
·激光散斑测量技术的起源与发展 | 第13-14页 |
·三维形貌测量研究的意义和现状 | 第14-16页 |
·三维形貌测量的意义 | 第14-15页 |
·三维形貌测量的现状 | 第15-16页 |
·本论文的主要工作 | 第16-17页 |
第二章 电子散斑干涉测量技术 | 第17-29页 |
·电子散斑干涉测量 | 第17-21页 |
·电子散斑干涉测量的现状及发展前景 | 第17-18页 |
·电子散斑干涉测量典型实验图 | 第18-19页 |
·电子散斑干涉基本原理 | 第19-21页 |
·电子散斑条纹图的频域滤波方法 | 第21-22页 |
·位相测量技术 | 第22-28页 |
·傅里叶变换法 | 第23-24页 |
·相移方法 | 第24-27页 |
·相位图的去包裹处理 | 第27-28页 |
·小结 | 第28-29页 |
第三章 电子散斑干涉场载频调制与解调技术 | 第29-38页 |
·偏转物体法电子散斑干涉场空间调制原理 | 第29-32页 |
·傅里叶变换法解调 | 第32-34页 |
·频谱分离 | 第34-37页 |
·频谱分离条件 | 第34-36页 |
·频谱分离对偏转角度的要求 | 第36-37页 |
·小结 | 第37-38页 |
第四章 物体表面三维形貌测量技术 | 第38-47页 |
·三维物体形貌测量技术简介 | 第38-40页 |
·光学三维物体形貌测量技术 | 第40-46页 |
·光学三角测量法 | 第40页 |
·光切法测量 | 第40-41页 |
·傅里叶变换投影栅线法 | 第41-46页 |
·小结 | 第46-47页 |
第五章 基于迈克尔干涉的散斑载频调制形貌测量技术 | 第47-55页 |
·物体面形的傅里叶变换载波调制原理 | 第47-50页 |
·傅里叶变换法解调 | 第50页 |
·典型实验 | 第50-53页 |
·实验系统 | 第50-51页 |
·步进电机及驱动控制 | 第51页 |
·实验测量 | 第51-53页 |
·误差分析 | 第53-54页 |
·结论 | 第54-55页 |
参考文献 | 第55-60页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
致谢 | 第61页 |