飞秒激光多光子微加工技术的研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章 绪论	第8-17页
·激光加工技术的发展	第8-9页
·飞秒激光加工的特征与应用	第9-13页
·飞秒激光多光子加工	第13-15页
·本论文主要工作	第15-17页
第二章 紫外负性SU8 光刻胶双光子聚合工艺研究	第17-29页
·紫外负性SU8 光刻胶概述	第17-19页
·紫外负性SU8 光刻胶主要成分和性质	第17-18页
·紫外负性SU8 光刻胶的感光机理	第18页
·紫外负性SU8 光刻胶双光子聚合工艺	第18-19页
·飞秒激光双光子聚合的实验装置	第19-22页
·飞秒激光系统	第19-20页
·监视系统	第20-21页
·三维位移平台	第21-22页
·紫外负性SU8 光刻胶双光子聚合工艺的研究	第22-27页
·前烘焙温度和时间对聚合结构的影响	第22-23页
·激光参数对聚合结构尺度的影响	第23-27页
·后烘焙时间和温度及显影过程对聚合结构的影响	第27页
·本章总结	第27-29页
第三章 掺锆有机无机杂化材料双光子聚合工艺研究	第29-39页
·溶胶-凝胶概述	第29-30页
·溶胶-凝胶法制备掺锆有机无机杂化材料	第30-31页
·掺锆有机无机杂化材料双光子聚合工艺	第31-32页
·掺锆有机无机杂化材料双光子聚合工艺的研究	第32-38页
·前烘焙温度和时间对聚合结构的影响	第32页
·激光参数对聚合结构尺度的影响	第32-38页
·本章总结	第38-39页
第四章 飞秒激光双光子直写金属银结构的研究	第39-53页
·掺Ag聚合物薄膜的制备	第39-40页
·钛宝石飞秒激光双光子沉积金属Ag微结构	第40-47页
·激光功率和扫描速度对沉积金属结构宽度的影响	第40-44页
·光栅结构的加工	第44-45页
·掺杂染料对沉积金属Ag结构的影响	第45-46页
·硝酸银浓度对沉积Ag结构的影响	第46-47页
·掺镱光子晶体光纤飞秒激光沉积金属Ag微结构	第47-51页
·实验设备和处理工艺	第47-49页
·激光功率和扫描速度的影响	第49页
·激光沉积金属Ag结构的形貌分析	第49-50页
·利用激光沉积金属Ag制作微结构	第50-51页
·本章总结	第51-53页
第五章 总结	第53-54页
参考文献	第54-57页
发表论文和科研情况说明	第57-58页
致谢	第58页