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BiFeO3外延薄膜电容器与异质结的制备和性能研究

摘要第1-7页
Abstract第7-13页
第一章 绪论第13-54页
   ·引言第13-14页
   ·钙钛矿结构氧化物功能材料第14-17页
     ·晶体结构第14页
     ·晶格畸变第14-16页
     ·d轨道在氧八面体晶体场中的分裂第16页
     ·Jahn-Teller畸变[5]第16-17页
   ·铁电薄膜材料的物理基础第17-19页
     ·铁电体第17-19页
     ·铁电薄膜第19页
   ·多铁性材料研究进展第19-24页
     ·多铁性材料的概念第19-20页
     ·多铁性材料的研究历史和发展概况第20-24页
   ·透明导电薄膜基础第24-31页
     ·透明导电薄膜的发展和研究概况第24-26页
       ·n型透明导电氧化物薄膜第24-25页
       ·p型透明导电氧化物薄膜第25-26页
     ·透明导电薄膜的电学和光学性质第26-28页
       ·透明导电薄膜的导电机制第27页
       ·透明导电薄膜的透光机制第27-28页
     ·透明导电器件的研究进展第28-31页
       ·透明p-n结第28-30页
       ·透明场效应管第30-31页
       ·小结第31页
   ·钙钛矿锰氧化物的基本性质第31-40页
     ·研究历史第31-33页
     ·晶体结构第33-34页
     ·电子结构和双交换作用第34页
     ·磁结构和电磁相图第34-35页
     ·薄膜方面的研究第35-40页
       ·外延薄膜中晶格应力第36-38页
       ·晶格应力对于外延薄膜物性的影响第38-40页
   ·基于铁电材料的薄膜电子器件第40-43页
     ·铁电随机存储第40-42页
       ·存储器第40-41页
       ·FRAM的历史和发展概况第41-42页
     ·铁电场效应管第42-43页
     ·阻滞存储第43页
   ·本章小结第43-44页
 参考文献第44-54页
第二章 样品的制备及性能表征方法第54-68页
   ·引言第54-55页
     ·脉冲激光沉积技术第54-55页
     ·PLD方法制备薄膜的特点第55页
   ·外延薄膜及相关器件的制备方法第55页
     ·靶材的制备第55页
     ·薄膜及器件的制备第55页
   ·外延薄膜的结构表征第55-63页
     ·X射线衍射(XRD)第56页
     ·X射线衍射倒易空间第56-59页
     ·XRD在薄膜材料结构表征方面的应用第59-63页
   ·外延薄膜及相关器件的光、电及磁物性的测量方法第63-65页
     ·光学透过率第63-64页
     ·表面和截面的形貌表第64页
     ·X射线光电子能谱第64页
     ·等离子体原子发射光谱第64-65页
     ·铁电特性第65页
     ·伏安特性第65页
     ·磁性和电阻测量第65页
   ·本章小结第65-67页
 参考文献第67-68页
第三章 La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延薄膜中的面内各向异性第68-83页
   ·引言第68-69页
   ·样品的制备和实验方法第69-72页
     ·La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3多晶靶材的制备第69-70页
     ·La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延薄膜的制备第70页
     ·La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延薄膜的XRD结构表征第70-71页
     ·La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延薄膜的电输运性质测量第71-72页
   ·实验结果与讨论第72-77页
     ·实验设想第72页
     ·XRD数据第72-75页
     ·倒易空间图的解释第75-77页
   ·本章小结第77-78页
 参考文献第78-83页
第四章 BiFeO_3铁电薄膜电容器第83-98页
   ·引言第83-87页
     ·相图和结构第83-84页
     ·电导、禁带宽度第84-85页
     ·铁电性第85-86页
     ·磁性第86页
     ·存在的问题第86-87页
   ·样品的制备和实验方法第87-88页
     ·多晶靶材的制备第87-88页
     ·铁电电容器的制备第88页
     ·结构、铁电、透光性能和XPS表征第88页
   ·实验结果与讨论第88-93页
     ·XRD结构表征第88-89页
     ·铁电性能的表征第89-91页
     ·漏电流的测试第91-92页
     ·透光性能第92页
     ·XPS分析第92-93页
   ·本章小结第93-94页
 参考文献第94-98页
第五章 La_(0.07)Sr_(0.93)SnO_3\BiFeO_3异质结Ⅰ-Ⅴ特性第98-105页
   ·引言第98-99页
   ·样品的制备和实验方法第99页
     ·多晶靶材的制备第99页
     ·异质结的制备和测量第99页
   ·实验结果与讨论第99-102页
   ·本章小结第102-104页
 参考文献第104-105页
第六章 Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电薄膜第105-117页
   ·引言第105-108页
   ·样品的制备和实验方法第108-109页
     ·靶材的制备第108页
     ·铁电电容器的制备第108-109页
     ·结构、铁电性能的表征第109页
   ·实验结果与讨论第109-111页
     ·XRD结构表征第109-110页
     ·铁电性能表征第110-111页
   ·本章小节第111-112页
 参考文献第112-117页
攻读博士学位期间的学术成果与获奖情况第117-118页
致谢第118页

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