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降冰片烯基193nm光刻技术用高透明聚合物的合成与性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-21页
 §1-1 前言第9-10页
 §1-2 193 NM光刻胶材料第10-14页
  1-2-1 193 nm 光刻胶材料常用单体第10-11页
  1-2-2 聚合物体系第11-14页
 §1-3 降冰片烯第14-17页
  1-3-1 功能化降冰片烯第15页
  1-3-2 降冰片烯与马来酸酐共聚第15-17页
 §1-4 供/受单体光聚合第17-19页
  1-4-1 自由基光引发剂第17-18页
  1-4-2 供/受单体光聚合第18-19页
 §1-5 本课题的选题思路及内容第19-21页
  1-5-1 本课题研究的意义和目的第19页
  1-5-2 本论文的主要研究内容第19-20页
   1-5-2-1 NB 和 MA 有氧热聚合第19页
   1-5-2-2 NB 和 MA 可见光聚合第19页
   1-5-2-3 NB 与 MA 共聚物的结构表征与热性能研究第19-20页
  1-5-3 本课题的创新点第20-21页
第二章 降冰片烯和马来酸酐有氧自由基热聚合第21-35页
 §2-1 前言第21页
 §2-2 实验试剂第21-22页
 §2-3 实验仪器第22页
 §2-4 测试与表征第22页
 §2-5 实验步骤第22-23页
  2-5-1 试剂的纯化第22-23页
  2-5-2 降冰片烯和马来酸酐含氧自由基热聚合第23页
  2-5-3 NB 和 MA 含氧自由基热聚合第23页
 §2-6 结果与讨论第23-33页
  2-6-1 NB 与 MA 含氧热聚合的研究第23-28页
   2-6-1-1 10%氧氛围动力学第24-25页
   2-6-1-2 10%氧氛围 NB 与 MA 共聚合竞聚率第25-27页
   2-6-1-3 溶剂影响第27页
   2-6-1-4 第三单体的影响第27-28页
  2-6-2 苯酚过氧自由基捕捉第28-29页
  2-6-3 有氧降冰片烯与马来酸酐共聚物的表征第29-31页
  2-6-4 NB 与 MA 共聚物的溶解性第31-32页
  2-6-5 含氧 NB 与 MA 共聚物的机理探讨第32-33页
 §2-7 本章小结第33-35页
第三章 降冰片烯和马来酸酐光聚合第35-48页
 §3-1 前言第35页
 §3-2 实验试剂第35-36页
 §3-3 实验仪器第36页
 §3-4 测试与表征第36-37页
 §3-5 实验步骤第37-38页
  3-5-1 试剂的纯化第37页
  3-5-2 NB 和MA 有氧自由基热聚合第37-38页
  3-5-3 三溴甲烷自由基捕捉实验第38页
 §3-6 结果与讨论第38-46页
  3-6-1 NB 与MA 可见光聚合的研究第38-41页
   3-6-1-1 溶剂影响第38-39页
   3-6-1-2 反应氛围和第三单体影响第39-40页
   3-6-1-3 光照距离影响第40-41页
  3-6-2 降冰片烯与马来酸酐共聚物的表征第41-43页
  3-6-3 GC-MS 自由基捕捉第43-45页
  3-6-4 UV 法电子复合转移物表征第45-46页
 §3-7 本章小结第46-48页
结论第48-49页
参考文献第49-54页
致谢第54-55页
攻读学位期间所取得的相关科研成果第55页

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