| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·BCN材料的研究现状 | 第10-22页 |
| ·BCN材料的理论研究 | 第10-13页 |
| ·BCN薄膜的制备 | 第13-18页 |
| ·CVD法制备BCN薄膜 | 第13-15页 |
| ·PVD法制备BCN薄膜 | 第15-18页 |
| ·BCN薄膜的性能研究 | 第18-21页 |
| ·耐腐蚀性 | 第18页 |
| ·介电性能 | 第18-20页 |
| ·场发射性能 | 第20页 |
| ·电学性能 | 第20页 |
| ·力学性能 | 第20-21页 |
| ·光学性能 | 第21页 |
| ·抗氧化性能 | 第21页 |
| ·其它性能 | 第21页 |
| ·BCN材料的组分研究 | 第21-22页 |
| ·论文的提出、研究目的与研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 实验与测试 | 第24-32页 |
| ·实验原料 | 第24-26页 |
| ·实验设备 | 第26-28页 |
| ·实验设计与工艺过程 | 第28-30页 |
| ·测试原理与方法 | 第30-32页 |
| ·结构分析 | 第30-31页 |
| ·组分分析 | 第31页 |
| ·薄膜厚度检测 | 第31页 |
| ·形貌分析 | 第31-32页 |
| 第3章 以B_4C为靶源的BCN薄膜的脉冲激光沉积 | 第32-59页 |
| ·激光能量密度对BCN薄膜的影响 | 第32-42页 |
| ·激光能量密度对BCN薄膜沉积速率的影响 | 第32-33页 |
| ·激光能量密度对BCN薄膜形貌的影响 | 第33-35页 |
| ·激光能量密度对BCN薄膜结构的影响 | 第35-41页 |
| ·激光能量密度对BCN薄膜组分的影响 | 第41-42页 |
| ·氮气压力对BCN薄膜的影响 | 第42-50页 |
| ·氮气压力对BCN薄膜沉积速率的影响 | 第43-44页 |
| ·氮气压力对BCN薄膜形貌的影响 | 第44-45页 |
| ·氮气压力对BCN薄膜结构的影响 | 第45-48页 |
| ·氮气压力对BCN薄膜组分的影响 | 第48-50页 |
| ·沉积温度对BCN薄膜的影响 | 第50-56页 |
| ·沉积温度对BCN薄膜沉积速率的影响 | 第50-51页 |
| ·沉积温度对BCN薄膜形貌的影响 | 第51页 |
| ·沉积温度对BCN薄膜结构的影响 | 第51-55页 |
| ·沉积温度对BCN薄膜组分的影响 | 第55-56页 |
| ·退火处理对BCN薄膜的影响 | 第56-58页 |
| ·真空退火 | 第56-57页 |
| ·大气退火 | 第57-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第4章 以BN/C为靶源的BCN薄膜的脉冲激光沉积 | 第59-75页 |
| ·拼合方式和沉积气氛对BCN薄膜结构的影响 | 第61-68页 |
| ·红外光谱(FTIR)分析 | 第61-65页 |
| ·光电子能谱(XPS)分析 | 第65-68页 |
| ·拼合方式和沉积气氛对BCN薄膜组分的影响 | 第68-72页 |
| ·退火处理对BCN薄膜的影响 | 第72-74页 |
| ·小结 | 第74-75页 |
| 第5章 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-83页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果目录 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |