| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-27页 |
| 1.1 等离子体简述 | 第15-17页 |
| 1.1.1 等离子体的概念性质 | 第15-16页 |
| 1.1.2 等离子体的自然存在 | 第16页 |
| 1.1.3 等离子体的应用前景 | 第16-17页 |
| 1.2 低温等离子体概述 | 第17-21页 |
| 1.2.1 低温等离子体的性质及应用 | 第17-18页 |
| 1.2.2 容性耦合等离子源 | 第18-19页 |
| 1.2.3 ECR和 Helicon等离子体源 | 第19-20页 |
| 1.2.4 感应耦合等离子体源 | 第20-21页 |
| 1.3 感应耦合等离子体源研究进展 | 第21-23页 |
| 1.3.1 感应耦合等离子体源理论研究进展 | 第21-22页 |
| 1.3.2 感应耦合等离子体源实验研究进展 | 第22-23页 |
| 1.4 Comsol仿真软件简介 | 第23-24页 |
| 1.5 本论文的研究目的及内容 | 第24-27页 |
| 第二章 气体放电基础理论 | 第27-37页 |
| 2.1 气体放电 | 第27-29页 |
| 2.2 流体模型 | 第29-31页 |
| 2.2.1 电子方程 | 第29-30页 |
| 2.2.2 离子方程 | 第30-31页 |
| 2.2.3 中性粒子方程 | 第31页 |
| 2.3 The Monte Carl Model模拟 | 第31-32页 |
| 2.4 放电气体碰撞理论 | 第32-34页 |
| 2.5 麦克斯韦分布及数值算法 | 第34-37页 |
| 第三章 氦放电的数值模拟 | 第37-47页 |
| 3.1 模拟理论 | 第37-40页 |
| 3.2 模拟离子能量分布函数 | 第40-43页 |
| 3.3 铜线圈与铁线圈 | 第43-47页 |
| 第四章 氦放电参数对放电过程的影响 | 第47-63页 |
| 4.1 功率对氦气放电等离子体影响 | 第47-51页 |
| 4.2 气压对氦气放电等离子体影响 | 第51-56页 |
| 4.3 温度对氦气放电等离子体影响 | 第56-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 作者简介 | 第71-72页 |