| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 金属微粒的危害 | 第11-12页 |
| 1.2.2 金属微粒运动的研究 | 第12-13页 |
| 1.2.3 金属微粒抑制措施 | 第13-15页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 楔形平板电极中微粒的运动方程 | 第17-24页 |
| 2.1 楔形平板电极中微粒运动模型 | 第17-18页 |
| 2.2 楔形平板电极中金属微粒的受力分析 | 第18-20页 |
| 2.3 金属微粒起举场强分析 | 第20-21页 |
| 2.4 金属微粒的运动过程 | 第21-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 金属微粒运动特性影响因素分析 | 第24-39页 |
| 3.1 三维仿真模型的建立 | 第24-27页 |
| 3.1.1 楔形平板电极模型设置 | 第25-26页 |
| 3.1.2 静电场数学模型 | 第26页 |
| 3.1.3 移动网格数学模型 | 第26-27页 |
| 3.2 仿真计算流程 | 第27-28页 |
| 3.3 仿真计算结果与分析 | 第28-36页 |
| 3.3.1 金属微粒运动轨迹与初始位置的关系 | 第28-31页 |
| 3.3.2 电压幅值对金属微粒运动轨迹的影响 | 第31-32页 |
| 3.3.3 粒径变化对金属微粒运动轨迹的影响 | 第32-33页 |
| 3.3.4 微粒材质对金属微粒运动轨迹的影响 | 第33-35页 |
| 3.3.5 微粒运动方向转变 | 第35-36页 |
| 3.4 微粒运动引发的电场变化分析 | 第36-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 覆膜对微粒表面电场及受力的影响 | 第39-52页 |
| 4.1 裸电极和覆膜条件下理论模型 | 第39-40页 |
| 4.2 覆膜条件下微粒表面的电场畸变特性分析 | 第40-45页 |
| 4.2.1 金属微粒位于裸电极表面 | 第41-42页 |
| 4.2.2 微粒位于低压覆膜电极表面 | 第42-45页 |
| 4.3 低压电极覆膜对金属微粒电场力的影响 | 第45-47页 |
| 4.3.1 微粒表面电荷密度分布 | 第45-46页 |
| 4.3.2 微粒表面电场力密度分布 | 第46-47页 |
| 4.4 覆膜条件下影响金属微粒表面电场的因素 | 第47-51页 |
| 4.4.1 薄膜厚度对金属微粒表面电场分布场强的影响 | 第47-49页 |
| 4.4.2 覆膜的相对介电常数对金属微粒表面电场分布场强的影响 | 第49-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 结论与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 结论 | 第52-53页 |
| 5.2 展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 在学研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |