| 摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-12页 |
| 第1章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 陶瓷材料的发展和碳化硅的应用 | 第13-14页 |
| 1.2 激光及其复合加工技术的研究现状 | 第14-20页 |
| 1.2.1 激光刻蚀技术研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.2 高温化学腐蚀技术研究现状 | 第16-17页 |
| 1.2.3 液体辅助激光加工技术研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3 本文课题来源及主要研究内容 | 第20-23页 |
| 第2章 激光-高温化学复合加工的实验方案构建 | 第23-31页 |
| 2.1 实验方案 | 第23-27页 |
| 2.1.1 化学腐蚀液的选取实验 | 第23页 |
| 2.1.2 激光-高温化学复合加工碳化硅凹槽实验 | 第23-26页 |
| 2.1.3 激光-高温化学复合铣削平面实验 | 第26-27页 |
| 2.2 实验设备及材料 | 第27-28页 |
| 2.3 化学腐蚀液的选取 | 第28页 |
| 2.4 检测方法 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小节 | 第30-31页 |
| 第3章 激光-高温化学复合加工工艺研究 | 第31-55页 |
| 3.1 反应条件对高温化学腐蚀的影响 | 第31-34页 |
| 3.1.1 浓度对腐蚀速率和气孔率的影响 | 第31-32页 |
| 3.1.2 温度对腐蚀速率和气孔率的影响 | 第32-33页 |
| 3.1.3 腐蚀时间对表面粗糙度的影响 | 第33-34页 |
| 3.2 低压射流对激光加工凹槽的影响 | 第34-38页 |
| 3.3 工艺参数对激光-高温化学复合加工凹槽的影响 | 第38-45页 |
| 3.3.1 工艺参数对槽体轮廓影响的研究 | 第38-41页 |
| 3.3.2 工艺参数对凹槽各表面粗糙度影响的研究 | 第41-45页 |
| 3.4 工艺参数对激光-高温化学平面铣削的影响 | 第45-54页 |
| 3.4.1 工艺参数对平面粗糙度和加工深度的影响 | 第45-50页 |
| 3.4.2 基于正交试验的参数优化 | 第50-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 激光-高温化学复合加工机理研究 | 第55-77页 |
| 4.1 高温化学腐蚀中的化学反应原理 | 第55-64页 |
| 4.1.1 SiC氧化反应热力学分析 | 第55-58页 |
| 4.1.2 二氧化硅在高温碱溶液中的动力学分析 | 第58-62页 |
| 4.1.3 物相分析 | 第62-63页 |
| 4.1.4 表面微观形貌分析 | 第63-64页 |
| 4.2 激光-高温化学复合加工中的激光作用过程 | 第64-70页 |
| 4.2.1 激光烧蚀过程及缺陷分析 | 第64-66页 |
| 4.2.2 激光高温化学复合加工的激光加热数学模型 | 第66-68页 |
| 4.2.3 激光高温化学复合加工碳化硅的基本原理 | 第68-70页 |
| 4.3 激光-高温化学复合加工优化结果的分析与验证 | 第70-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 第5章 结论与展望 | 第77-79页 |
| 5.1 结论 | 第77-78页 |
| 5.2 展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
