ZnO光学薄膜随机表面的形貌分析与光散射特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题的研究背景与意义 | 第7-8页 |
| ·薄膜表面形貌分析与光散射特性的国内外研究现状 | 第8-13页 |
| ·薄膜表面分形理论应用的研究现状 | 第9-11页 |
| ·薄膜表面光散射特性的研究现状 | 第11-13页 |
| ·本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 随机表面形貌分析的相关理论 | 第14-28页 |
| ·随机表面的数学统计和参量描述 | 第14-18页 |
| ·随机表面的自相似分形理论 | 第18-23页 |
| ·分形几何理论 | 第18-22页 |
| ·二维分形表面模型 | 第22-23页 |
| ·表面形貌的测量方法 | 第23-28页 |
| ·接触式测量法 | 第24-26页 |
| ·非接触式测量法 | 第26-28页 |
| 3 光的散射特性理论 | 第28-36页 |
| ·光的偏振性 | 第28页 |
| ·偏振光的表示法 | 第28-32页 |
| ·斯托克斯矢量表示法 | 第29-30页 |
| ·斯托克斯矢量的密勒矩阵方法 | 第30-32页 |
| ·偏振光的测量法 | 第32-36页 |
| 4 ZnO薄膜随机表面的形貌分析实验 | 第36-61页 |
| ·AFM仪器介绍 | 第36-37页 |
| ·ZnO薄膜样品制备 | 第37-41页 |
| ·电子束蒸发法原理 | 第37-39页 |
| ·镀膜过程 | 第39-41页 |
| ·薄膜表面的形貌测量与分析 | 第41-60页 |
| ·样品薄膜表面的AFM图像 | 第41-52页 |
| ·样品薄膜表面的粗糙度和粒径大小分析 | 第52-55页 |
| ·样品薄膜表面的傅里叶变换分析 | 第55-56页 |
| ·样品薄膜表面的分形特征分析 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 ZnO薄膜随机表面的光散射特性实验 | 第61-66页 |
| ·实验仪器和装置 | 第61-62页 |
| ·反射光的功率与入射角之间的关系 | 第62-63页 |
| ·反射光的偏振度与入射角之间的关系 | 第63-64页 |
| ·反射光的振动面旋转角度与入射角之间的关系 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 6 结论与展望 | 第66-68页 |
| 附录 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
