| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 真空系统分析与设计 | 第14-26页 |
| 2.1 回旋加速器真空系统特点与需求 | 第14-15页 |
| 2.2 PET用回旋加速器真空度要求及残余气体束流损失 | 第15-18页 |
| 2.3 真空系统气载与抽气分析 | 第18-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 控制系统硬件方案 | 第26-35页 |
| 3.1 基于PLC的真空系统控制方案 | 第26-27页 |
| 3.2 控制系统硬件设计与搭建 | 第27-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 控制仿真与程序设计 | 第35-53页 |
| 4.1 基于有限状态机的控制系统仿真 | 第35-41页 |
| 4.2 PLC软件程序设计 | 第41-51页 |
| 4.3 真空系统调试与实验结果 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 真空监控系统 | 第53-59页 |
| 5.1 基于OPC技术的LabVIEW与PLC通讯 | 第53-55页 |
| 5.2 监控系统上位机开发 | 第55-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 全文总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 全文总结 | 第59-60页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文 | 第65-66页 |
| 附录2 真空控制系统电气接线图 | 第66页 |