| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.1.1 日盲紫外的应用 | 第9-10页 |
| 1.1.2 日盲紫外滤光片 | 第10页 |
| 1.2 紫外滤光片发展现状 | 第10-11页 |
| 1.3 宽视场滤光片发展现状 | 第11-13页 |
| 1.4 课题研究内容 | 第13页 |
| 1.5 论文结构 | 第13-16页 |
| 第2章 光学薄膜相关理论 | 第16-26页 |
| 2.1 膜系设计理论基础 | 第16-19页 |
| 2.1.1 单层介质薄膜 | 第16-17页 |
| 2.1.2 多层薄膜特性计算 | 第17-18页 |
| 2.1.3 对称膜系等效层 | 第18-19页 |
| 2.2 干涉截止滤光膜系 | 第19-21页 |
| 2.2.1 λ/ 4 多层膜通带透射率（包含通带波纹压缩） | 第19-20页 |
| 2.2.2 截止带宽和截止中心的透射率 | 第20-21页 |
| 2.3 带通滤光膜系 | 第21-23页 |
| 2.3.1 法-珀滤光片 | 第22-23页 |
| 2.3.2 金属诱导透射滤光片 | 第23页 |
| 2.4 光学薄膜检测技术 | 第23-25页 |
| 2.4.1 薄膜透射率和反射率的测量 | 第23-24页 |
| 2.4.2 薄膜光学常数的测量 | 第24-25页 |
| 2.4.3 薄膜非光学特性检测 | 第25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 薄膜工艺研究 | 第26-36页 |
| 3.1 薄膜材料选择 | 第26-27页 |
| 3.2 单层二氧化铪薄膜光学特性研究 | 第27-33页 |
| 3.2.1 工艺因素选取 | 第27-28页 |
| 3.2.2 工艺实验设计 | 第28-29页 |
| 3.2.3 实验 | 第29-30页 |
| 3.2.4 光学常数测试 | 第30页 |
| 3.2.5 实验结果分析 | 第30-33页 |
| 3.3 单层二氧化铪薄膜成膜质量影响 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章 宽视场滤光片设计 | 第36-48页 |
| 4.1 窄带滤光片视场效应研究 | 第36-41页 |
| 4.1.1 中心波长漂移 | 第36-38页 |
| 4.1.2 偏振光分离 | 第38-39页 |
| 4.1.3 宽视场日盲窄带滤光片设计 | 第39-41页 |
| 4.2 截止滤光片视场效应研究 | 第41-46页 |
| 4.2.1 截止滤光膜系角度特性 | 第42-43页 |
| 4.2.2 短波通日盲截止滤光片滤光片设计 | 第43-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 第5章 滤光片制备与测试 | 第48-56页 |
| 5.1 镀膜装置 | 第48-50页 |
| 5.1.1 真空系统 | 第48页 |
| 5.1.2 电子束蒸发 | 第48-49页 |
| 5.1.3 离子源 | 第49-50页 |
| 5.2 膜厚监控 | 第50-51页 |
| 5.2.1 膜厚监控方法 | 第50页 |
| 5.2.2 石英晶体控制方法 | 第50-51页 |
| 5.3 滤光片镀制 | 第51-56页 |
| 5.3.1 Tooling值测试 | 第51页 |
| 5.3.2 滤光片试镀 | 第51-53页 |
| 5.3.3 滤光片镀制 | 第53-54页 |
| 5.3.4 滤光片检测 | 第54-56页 |
| 第6章 总结与展望 | 第56-59页 |
| 6.1 总结 | 第56-57页 |
| 6.2 论文创新点 | 第57-58页 |
| 6.3 未来展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |