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宽视角日盲滤光片技术研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
第1章 绪论第9-16页
    1.1 课题背景第9-10页
        1.1.1 日盲紫外的应用第9-10页
        1.1.2 日盲紫外滤光片第10页
    1.2 紫外滤光片发展现状第10-11页
    1.3 宽视场滤光片发展现状第11-13页
    1.4 课题研究内容第13页
    1.5 论文结构第13-16页
第2章 光学薄膜相关理论第16-26页
    2.1 膜系设计理论基础第16-19页
        2.1.1 单层介质薄膜第16-17页
        2.1.2 多层薄膜特性计算第17-18页
        2.1.3 对称膜系等效层第18-19页
    2.2 干涉截止滤光膜系第19-21页
        2.2.1 λ/ 4 多层膜通带透射率(包含通带波纹压缩)第19-20页
        2.2.2 截止带宽和截止中心的透射率第20-21页
    2.3 带通滤光膜系第21-23页
        2.3.1 法-珀滤光片第22-23页
        2.3.2 金属诱导透射滤光片第23页
    2.4 光学薄膜检测技术第23-25页
        2.4.1 薄膜透射率和反射率的测量第23-24页
        2.4.2 薄膜光学常数的测量第24-25页
        2.4.3 薄膜非光学特性检测第25页
    2.5 本章小结第25-26页
第3章 薄膜工艺研究第26-36页
    3.1 薄膜材料选择第26-27页
    3.2 单层二氧化铪薄膜光学特性研究第27-33页
        3.2.1 工艺因素选取第27-28页
        3.2.2 工艺实验设计第28-29页
        3.2.3 实验第29-30页
        3.2.4 光学常数测试第30页
        3.2.5 实验结果分析第30-33页
    3.3 单层二氧化铪薄膜成膜质量影响第33-34页
    3.4 本章小结第34-36页
第4章 宽视场滤光片设计第36-48页
    4.1 窄带滤光片视场效应研究第36-41页
        4.1.1 中心波长漂移第36-38页
        4.1.2 偏振光分离第38-39页
        4.1.3 宽视场日盲窄带滤光片设计第39-41页
    4.2 截止滤光片视场效应研究第41-46页
        4.2.1 截止滤光膜系角度特性第42-43页
        4.2.2 短波通日盲截止滤光片滤光片设计第43-46页
    4.3 本章小结第46-48页
第5章 滤光片制备与测试第48-56页
    5.1 镀膜装置第48-50页
        5.1.1 真空系统第48页
        5.1.2 电子束蒸发第48-49页
        5.1.3 离子源第49-50页
    5.2 膜厚监控第50-51页
        5.2.1 膜厚监控方法第50页
        5.2.2 石英晶体控制方法第50-51页
    5.3 滤光片镀制第51-56页
        5.3.1 Tooling值测试第51页
        5.3.2 滤光片试镀第51-53页
        5.3.3 滤光片镀制第53-54页
        5.3.4 滤光片检测第54-56页
第6章 总结与展望第56-59页
    6.1 总结第56-57页
    6.2 论文创新点第57-58页
    6.3 未来展望第58-59页
参考文献第59-63页
攻读学位期间发表论文第63-64页
致谢第64页

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