| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 a-CN_x薄膜材料的研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2 掺杂a-CN_x薄膜的研究进展 | 第12-15页 |
| 1.3 a-CN_x薄膜的制备方法 | 第15-18页 |
| 1.4 课题的提出和研究内容 | 第18-19页 |
| 1.4.1 论文的研究内容 | 第18页 |
| 1.4.2 论文的创新点 | 第18-19页 |
| 2 实验及表征 | 第19-23页 |
| 2.1 实验设备及原料 | 第19-20页 |
| 2.2 薄膜制备及工艺路线 | 第20-21页 |
| 2.3 薄膜的表征分析 | 第21-23页 |
| 3 Fe掺杂浓度对a-CN_x薄膜结构和性能的影响 | 第23-46页 |
| 3.1 制备Fe掺杂a-CN_x薄膜前期探索 | 第23-28页 |
| 3.2 Fe掺杂浓度对a-CN_x薄膜形貌的影响 | 第28-31页 |
| 3.3 Fe掺杂浓度对a-CN_x薄膜结构的影响 | 第31-36页 |
| 3.4 Fe掺杂浓度对a-CN_x薄膜光学性能的影响 | 第36-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 4 工艺参数对a-CN_x薄膜结构和性能的影响 | 第46-71页 |
| 4.1 工作气压对Fe掺杂a-CN_x薄膜结构和性能的影响 | 第46-53页 |
| 4.1.1 工作气压对Fe掺杂a-CN_x薄膜形貌的影响 | 第46-48页 |
| 4.1.2 工作压强对Fe掺杂a-CN_x薄膜结构的影响 | 第48-50页 |
| 4.1.3 工作气压对Fe掺杂a-CN_x薄膜光学性能的影响 | 第50-53页 |
| 4.2 衬底温度对Fe掺杂a-CN_x薄膜结构和性能的影响 | 第53-60页 |
| 4.2.1 衬底温度对Fe掺杂a-CN_x薄膜形貌的影响 | 第53-54页 |
| 4.2.2 衬底温度对Fe掺杂a-CN_x薄膜结构的影响 | 第54-57页 |
| 4.2.3 衬底温度对Fe掺杂a-CN_x薄膜光学性能的影响 | 第57-60页 |
| 4.3 N_2流量对Fe掺杂a-CN_x薄膜结构和性能的影响 | 第60-69页 |
| 4.3.1 N_2流量对Fe掺杂a-CN_x薄膜形貌的影响 | 第60-62页 |
| 4.3.2 N_2流量对Fe掺杂a-CN_x薄膜形貌结构的影响 | 第62-66页 |
| 4.3.3 N_2流量对Fe掺杂a-CN_x薄膜光学性能的影响 | 第66-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-82页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第82页 |
