钽酸锂单晶多元热释电红外器件制备与集成研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 非制冷红外探测器概述 | 第10-11页 |
| 1.2 热释电探测器简介 | 第11-16页 |
| 1.2.1 热释电探测器的工作原理 | 第11-12页 |
| 1.2.2 热释电探测器结构 | 第12-13页 |
| 1.2.3 热释电材料 | 第13-14页 |
| 1.2.4 绝热结构 | 第14-16页 |
| 1.2.5 热释电多元探测器简介 | 第16页 |
| 1.3 热释电探测器国内外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3.1 针对热释电敏感元的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 针对绝热结构与集成方式的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 本论文的研究意义及主要工作 | 第18-19页 |
| 第二章 实验方案及原理 | 第19-29页 |
| 2.1 热释电探测器的设计方法 | 第19页 |
| 2.2 热释电探测器制备工艺 | 第19-23页 |
| 2.2.1 敏感元加工技术 | 第19-21页 |
| 2.2.2 敏感元与绝热结构集成技术 | 第21-23页 |
| 2.2.3 红外吸收层制备技术 | 第23页 |
| 2.3 热释电探测器微观分析与性能表征 | 第23-29页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第23-24页 |
| 2.3.2 探针式表面轮廓仪 | 第24-25页 |
| 2.3.3 热释电探测器的主要性能参数和表征方式 | 第25-29页 |
| 第三章 热释电探测器的基本结构与制备工艺研究 | 第29-43页 |
| 3.1 热释电探测器的基本结构 | 第29-30页 |
| 3.2 热释电探测器的有限元热学仿真 | 第30-34页 |
| 3.3 热释电探测器制备工艺流程 | 第34-37页 |
| 3.4 电极图形化工艺参数研究 | 第37-39页 |
| 3.5 热释电探测器集成工艺研究 | 第39-41页 |
| 3.5.1 涂胶时间对键合效果的影响 | 第39页 |
| 3.5.2 涂胶转速对器件性能的影响 | 第39-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 LiTaO_3多元热释电探测器的结构优化 | 第43-62页 |
| 4.1 空气隙结构对探测器性能的影响 | 第43-51页 |
| 4.2 横向绝热结构对探测器性能的影响 | 第51-57页 |
| 4.2.1 LiTaO_3刻蚀工艺研究 | 第54-55页 |
| 4.2.2 横向绝热结构宽度对探测器性能的影响 | 第55-56页 |
| 4.2.3 横向绝热结构深度对探测器性能的影响 | 第56-57页 |
| 4.3 多元探测器的制备与测试 | 第57-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 结论与展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第68页 |
