| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 自标定方法国内外研究现状 | 第11-26页 |
| 1.2.1 自标定方法及其辅助测量装置研究进展 | 第11-19页 |
| 1.2.2 自标定对准系统研究进展 | 第19-23页 |
| 1.2.3 光栅尺测量技术的发展现状 | 第23-26页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第26-27页 |
| 1.4 论文的结构安排 | 第27-28页 |
| 第二章 二维精密运动台测量系统自标定方法及理论拓展 | 第28-48页 |
| 2.1 精密运动台测量误差及自标定误差建模 | 第28-34页 |
| 2.1.1 精密运动台的测量误差 | 第28-29页 |
| 2.1.2 二维自标定方法误差模型 | 第29-34页 |
| 2.2 二维自标定基本原理 | 第34-39页 |
| 2.2.1 三种测量位姿及其数学模型 | 第34-38页 |
| 2.2.2 二维自标定算法解算 | 第38-39页 |
| 2.3 二维自标定方法在大行程标定领域的改进扩展 | 第39-44页 |
| 2.3.1 二维大行程自标定方法基本原理 | 第39-42页 |
| 2.3.2 二维大行程自标定操作步骤 | 第42-44页 |
| 2.4 大行程自标定方法在三维标定领域的扩展 | 第44-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 基于零位光栅的自标定对准系统方案 | 第48-65页 |
| 3.1 传统自标定对准系统方案 | 第48-52页 |
| 3.1.1 传统标定板 | 第49页 |
| 3.1.2 传统对准定位装置 | 第49-50页 |
| 3.1.3 传统对准系统方案评价 | 第50-52页 |
| 3.2 光栅、零位光栅 | 第52-54页 |
| 3.2.1 光栅及其测量原理 | 第52-53页 |
| 3.2.2 零位光栅 | 第53-54页 |
| 3.3 基于零位光栅的自标定对准方案 | 第54-60页 |
| 3.3.1 对准检测原理 | 第55-56页 |
| 3.3.2 对准系统方案及结构设计 | 第56-58页 |
| 3.3.3 读数头布置方案及相关算法调整 | 第58-60页 |
| 3.3.4 在本方案下的自标定过程 | 第60页 |
| 3.4 电控系统总体方案设计 | 第60-64页 |
| 3.4.1 系统涉及的相关理论和技术 | 第61-62页 |
| 3.4.2 电控系统方案介绍 | 第62-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 系统方案实现、实验测试与相关仿真分析 | 第65-87页 |
| 4.1 对准系统原理样机 | 第65-69页 |
| 4.2 实验系统对准性能测试 | 第69-73页 |
| 4.2.1 重复对准精度测试实验及分析 | 第69-72页 |
| 4.2.2 重复对准精度干扰因素分析 | 第72-73页 |
| 4.3 温度与重复对准精度相关性实验及仿真分析 | 第73-81页 |
| 4.3.1 温度相关性实验探索 | 第73-75页 |
| 4.3.2 温度对重复对准精度影响测试实验 | 第75-80页 |
| 4.3.3 温度变化相关仿真及分析 | 第80-81页 |
| 4.4 振动因素对重复对准精度影响分析 | 第81-84页 |
| 4.5 对准效果总结及方案改进优化 | 第84-86页 |
| 4.5.1 基于零位光栅的自标定对准系统效果总结 | 第84-85页 |
| 4.5.2 对准系统方案改进和优化 | 第85-86页 |
| 4.6 本章小结 | 第86-87页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第87-89页 |
| 5.1 本文的主要工作总结 | 第87-88页 |
| 5.2 工作展望 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-94页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第94-95页 |