| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 主要符号表 | 第11-12页 |
| 1 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题来源及背景 | 第12-13页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.1.2 课题背景 | 第12-13页 |
| 1.2 微泵国内外研究综述 | 第13-17页 |
| 1.2.1 有阀微泵 | 第13-15页 |
| 1.2.2 无阀微泵 | 第15-17页 |
| 1.3 本文的研究目的和主要内容 | 第17-18页 |
| 1.3.1 本课题研究的目的 | 第17页 |
| 1.3.2 本课题研究的内容 | 第17-18页 |
| 1.4 本文的技术路线 | 第18-19页 |
| 1.5 本章小结 | 第19-20页 |
| 2 串联无阀压电微泵的工作原理 | 第20-29页 |
| 2.1 压电振子的工作原理 | 第20-22页 |
| 2.1.1 压电材料的分类及压电振子的选择 | 第20-21页 |
| 2.1.2 压电振子的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2 无阀微泵的工作原理 | 第22-25页 |
| 2.2.1 收缩/扩张管的工作原理 | 第22-24页 |
| 2.2.2 收缩/扩张管无阀微泵的工作原理 | 第24-25页 |
| 2.2.3 收缩/扩张管串联无阀微泵的工作原理 | 第25页 |
| 2.3 微泵的有限元仿真 | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 微泵设计制作及测量参数的确定 | 第29-50页 |
| 3.1 微泵设计制作及封装 | 第29-38页 |
| 3.1.1 泵体设计及制作 | 第29-32页 |
| 3.1.2 泵膜设计制作 | 第32-34页 |
| 3.1.3 微泵的封装 | 第34-36页 |
| 3.1.4 微泵夹具设计 | 第36-38页 |
| 3.2 控制放大器的设计 | 第38-45页 |
| 3.2.1 功率放大器芯片选择 | 第39-40页 |
| 3.2.2 功率放大器设计及制作 | 第40-45页 |
| 3.3 微泵驱动参数的确定 | 第45-49页 |
| 3.3.1 电压的确定 | 第45页 |
| 3.3.2 频率点的确定 | 第45-46页 |
| 3.3.3 同相位的确定 | 第46-47页 |
| 3.3.4 波形组合的确定 | 第47-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 微泵实验平台搭建和测控系统分析 | 第50-65页 |
| 4.1 微泵流量实验平台的搭建 | 第50-52页 |
| 4.2 微泵流量测控系统性能分析 | 第52-60页 |
| 4.2.1 不同电压驱动下微泵流动特性分析 | 第52-55页 |
| 4.2.2 不同相位差驱动下微泵流动特性分析 | 第55-60页 |
| 4.3 微泵振动实验初步探究 | 第60-64页 |
| 4.3.1 微泵振动实验平台搭建 | 第60-62页 |
| 4.3.2 微泵振动测控系统分析 | 第62-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论与展望 | 第65-67页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 个人简历、攻读学位期间发表的学术论文和研究成果目录 | 第73-74页 |