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衬底温度对低功率制备ZnO薄膜光学特性的影响

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪 论第9-20页
    1.1 ZnO 材料的基本性质第10-12页
    1.2 ZnO 材料的研究进展第12-15页
    1.3 ZnO 薄膜的应用第15-18页
    参考文献第18-20页
第二章 ZnO 薄膜的制备和表征方法第20-31页
    2.1 ZnO 薄膜的制备方法第20-22页
    2.2 ZnO 薄膜样品的制备第22-30页
    参考文献第30-31页
第三章 Si 衬底、衬底温度对 ZnO 薄膜特性的影响第31-38页
    3.1 衬底温度对ZnO 薄膜结晶特性的影响第31-33页
    3.2 衬底温度对ZnO 薄膜光致发光特性的影响第33-35页
    3.3 本章小结第35-37页
    参考文献第37-38页
第四章 玻璃衬底、制备温度对 ZnO 薄膜特性的影响第38-48页
    4.1 衬底温度对ZnO 薄膜结晶特性的影响第38-40页
    4.2 衬底温度对ZnO 薄膜光学性能的影响第40-43页
    4.3 制备温度对ZnO 薄膜透射及光吸收特性的影响第43-45页
    4.4 本章小结第45-47页
    参考文献第47-48页
第五章 总结与展望第48-51页
    5.1 总结第48-49页
    5.2 展望第49-51页
致谢第51-52页
附录:攻读硕士学位期间发表的论文第52页

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