| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪 论 | 第9-20页 |
| 1.1 ZnO 材料的基本性质 | 第10-12页 |
| 1.2 ZnO 材料的研究进展 | 第12-15页 |
| 1.3 ZnO 薄膜的应用 | 第15-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 ZnO 薄膜的制备和表征方法 | 第20-31页 |
| 2.1 ZnO 薄膜的制备方法 | 第20-22页 |
| 2.2 ZnO 薄膜样品的制备 | 第22-30页 |
| 参考文献 | 第30-31页 |
| 第三章 Si 衬底、衬底温度对 ZnO 薄膜特性的影响 | 第31-38页 |
| 3.1 衬底温度对ZnO 薄膜结晶特性的影响 | 第31-33页 |
| 3.2 衬底温度对ZnO 薄膜光致发光特性的影响 | 第33-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第四章 玻璃衬底、制备温度对 ZnO 薄膜特性的影响 | 第38-48页 |
| 4.1 衬底温度对ZnO 薄膜结晶特性的影响 | 第38-40页 |
| 4.2 衬底温度对ZnO 薄膜光学性能的影响 | 第40-43页 |
| 4.3 制备温度对ZnO 薄膜透射及光吸收特性的影响 | 第43-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-51页 |
| 5.1 总结 | 第48-49页 |
| 5.2 展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 附录：攻读硕士学位期间发表的论文 | 第52页 |
