| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 本文的研究背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 薄膜/基底与微悬臂梁接触模型分析基础 | 第14-32页 |
| 2.1 粗糙面间接触基础 | 第14-17页 |
| 2.1.1 接触问题的描述 | 第14-15页 |
| 2.1.2 粗糙面间接触受力变形分析 | 第15-17页 |
| 2.2 材料的损伤和破坏 | 第17-18页 |
| 2.2.1 有限元损伤模型 | 第17-18页 |
| 2.2.2 单元失效方法 | 第18页 |
| 2.3 扩展有限元模型 | 第18-22页 |
| 2.3.1 富集函数 | 第19-20页 |
| 2.3.2 水平集法 | 第20-21页 |
| 2.3.3 粘性片段法 | 第21-22页 |
| 2.4 内聚力单元模型 | 第22-30页 |
| 2.4.1 内聚力模型概念的提出 | 第23-24页 |
| 2.4.2 基于张力-位移法则的内聚力单元 | 第24-28页 |
| 2.4.3 几何模型 | 第28-29页 |
| 2.4.4 有限元隐式求解收敛性问题 | 第29-30页 |
| 2.5 表面黏着模型 | 第30-31页 |
| 2.6 基于张力-位移法则的内聚力单元和表面黏着模型的比较 | 第31-32页 |
| 第3章 薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触-分离模型的建立 | 第32-42页 |
| 3.1 射频式微开关简介 | 第32-33页 |
| 3.2 粗糙实体模型建立 | 第33-34页 |
| 3.3 薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触几何模型建立 | 第34-35页 |
| 3.4 参数的确定 | 第35-38页 |
| 3.5 边界条件的确定 | 第38-39页 |
| 3.6 工况条件的选择 | 第39页 |
| 3.7 单元选择和网格划分 | 第39-41页 |
| 3.8 增量步控制技术 | 第41-42页 |
| 第4章 结果分析和讨论 | 第42-68页 |
| 4.1 薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触分析 | 第42-62页 |
| 4.1.1 载荷和接触力 | 第42-45页 |
| 4.1.2 薄膜/基底vonMises等效应力 | 第45-47页 |
| 4.1.3 加载点位移和接触面积 | 第47-49页 |
| 4.1.4 界面层应力及损伤分析 | 第49-52页 |
| 4.1.5 薄膜弹塑性分析 | 第52-53页 |
| 4.1.6 薄膜损伤分析 | 第53-56页 |
| 4.1.7 系统能量变化 | 第56-59页 |
| 4.1.8 加载力的影响 | 第59-62页 |
| 4.2 薄膜对薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触特性的影响 | 第62-64页 |
| 4.2.1 等效应力和接触力 | 第62-63页 |
| 4.2.2 损伤分析 | 第63-64页 |
| 4.3 黏着力对薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触特性的影响 | 第64-68页 |
| 4.3.1 接触面积 | 第65-66页 |
| 4.3.2 接触力 | 第66页 |
| 4.3.3 能量 | 第66-68页 |
| 结论与展望 | 第68-71页 |
| 主要结论 | 第68-69页 |
| 主要创新点 | 第69页 |
| 研究展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 个人简介 | 第78页 |
| 在读期间已发表和录用的论文 | 第78页 |
