| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 本论文的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 本论文国内外研究进展 | 第11-18页 |
| 1.3 本课题的研究内容与工作安排 | 第18-20页 |
| 第二章 复合多层膜结构声表面波谐振器设计模型及方法 | 第20-36页 |
| 2.1 概述 | 第20-21页 |
| 2.2 ZnO/Metglas自由表面传播特性 | 第21-25页 |
| 2.2.1 散射矩阵法 | 第22-24页 |
| 2.2.2 反向散色矩阵法 | 第24-25页 |
| 2.3 耦合模(COM)模型 | 第25-27页 |
| 2.3.1 色散多层结构的COM方程 | 第26-27页 |
| 2.4 耦合模(COM)参数 | 第27-35页 |
| 2.4.1 反射系数T_R | 第30-32页 |
| 2.4.2 换能系数α | 第32-34页 |
| 2.4.3 叉指电容C_F | 第34页 |
| 2.4.4 叉指电阻R_F | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 非晶态合金的退火实验及ΔE效应研究 | 第36-57页 |
| 3.1 非晶态合金 | 第36-37页 |
| 3.2 一种非晶态合金的数学模型 | 第37-44页 |
| 3.2.1 模型的推导 | 第37-40页 |
| 3.2.2 非晶带材的磁化强度 | 第40-41页 |
| 3.2.3 非晶带材的磁致伸缩系数 | 第41-42页 |
| 3.2.4 非晶带材ΔE效应 | 第42-44页 |
| 3.3 未退火Metglas2605SA1ΔE效应测试 | 第44-47页 |
| 3.3.1 铁磁材料共振/反共振频率测试方法 | 第44-45页 |
| 3.3.2 Metglas2605SA1样品长度对共振频率的影响 | 第45-46页 |
| 3.3.3 未退火带材的杨氏模量效应 | 第46-47页 |
| 3.4 磁场退火对非晶带材磁性能的影响 | 第47-52页 |
| 3.4.1 磁场退火 | 第48页 |
| 3.4.2 不同磁场退火条件对非晶带材磁性能的影响 | 第48-52页 |
| 3.5 退火后非晶带材ΔE效应 | 第52-56页 |
| 3.5.1 易轴方向ΔE效应 | 第52-53页 |
| 3.5.2 难轴方向ΔE效应 | 第53-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 复合多层膜的磁电声表面波谐振器的制备 | 第57-67页 |
| 4.1 制备流程及工艺条件 | 第57页 |
| 4.2 Metglas2605SA1的抛光处理 | 第57-58页 |
| 4.3 压电薄膜ZnO的性质及其性能研究 | 第58-63页 |
| 4.3.1 ZnO薄膜的性质 | 第58-59页 |
| 4.3.2 ZnO薄膜的制备 | 第59页 |
| 4.3.3 ZnO薄膜XRD结果分析 | 第59-61页 |
| 4.3.4 ZnO薄膜形貌结构分析 | 第61-62页 |
| 4.3.5 ZnO薄膜I-V测试结果分析 | 第62-63页 |
| 4.4 叉指换能器的制备 | 第63-65页 |
| 4.5 谐振器的测试与分析 | 第65-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结论 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 硕士期间所取得的研究成果 | 第74-75页 |
