| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 半导体气体传感器的发展 | 第11-16页 |
| 1.1.1 半导体气体传感器特点 | 第11-12页 |
| 1.1.2 半导体气体传感器类别 | 第12-14页 |
| 1.1.3 半导体气体传感器敏感机理 | 第14-15页 |
| 1.1.4 半导体气体传感器性能指标 | 第15-16页 |
| 1.2 ZnO材料及其合成方法简介 | 第16-20页 |
| 1.2.1 ZnO特征与应用 | 第16-18页 |
| 1.2.2 ZnO材料的合成 | 第18页 |
| 1.2.3 水热合成法介绍 | 第18页 |
| 1.2.4 静电纺丝法介绍 | 第18-20页 |
| 1.3 本论文的研究意义和主要工作 | 第20-21页 |
| 2 水热合成法制备的ZnO纳米棒的表征和气敏性分析 | 第21-33页 |
| 2.1 传感器制作及测试系统简介 | 第21-24页 |
| 2.1.1 传感器制作过程介绍 | 第21-22页 |
| 2.1.2 静态测试系统介绍 | 第22-24页 |
| 2.2 不同浓度Y掺杂的ZnO纳米纳米棒的制备及表征 | 第24-28页 |
| 2.2.1 不同浓度Y掺杂的ZnO纳米棒的制备 | 第24-25页 |
| 2.2.2 不同浓度Y掺杂的ZnO纳米棒的表征 | 第25-28页 |
| 2.3 不同浓度Y掺杂的ZnO纳米棒气敏特性测试 | 第28-30页 |
| 2.4 Y掺杂的ZnO纳米棒气敏机理分析 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 静电纺丝法制备Y掺杂ZnO纳米纤维及丙酮气敏特性分析 | 第33-47页 |
| 3.1 不同浓度Y掺杂的ZnO纳米纤维制备和表征 | 第33-38页 |
| 3.1.1 不同浓度Y掺杂的ZnO纳米纤维的制备 | 第33页 |
| 3.1.2 不同浓度Y掺杂的ZnO纳米纤维的表征 | 第33-38页 |
| 3.2 不同浓度Y掺杂的ZnO纳米纤维气敏特性测试 | 第38-42页 |
| 3.3 Y掺杂的ZnO纳米纤维的气敏机理分析 | 第42-43页 |
| 3.4 贵金属掺杂的ZnO纳米纤维的气敏分析 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 4 ZnO/TiO_2复合纳米纤维气敏特性研究 | 第47-53页 |
| 4.1 ZnO/TiO_2材料的制备、表征 | 第47-49页 |
| 4.1.1 ZnO和TiO_2纳米纤维的制备 | 第47-48页 |
| 4.1.2 纳米纤维的表征 | 第48-49页 |
| 4.2 ZnO/TiO_2复合敏感元件的制作及气敏特性分析 | 第49-51页 |
| 4.3 不同方法和掺杂ZnO性能的比较 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
