摘要 | 第2-4页 |
ABSTRACT | 第4-5页 |
1 绪论 | 第8-18页 |
1.1 压电材料的分类与研究现状 | 第8页 |
1.2 无铅压电陶瓷的研究近况 | 第8-9页 |
1.3 压电陶瓷叠层微位移驱动器研究进展 | 第9-12页 |
1.4 环形超声波电机国内外研究现状 | 第12-15页 |
1.4.1 超声波电机原理与分类 | 第12页 |
1.4.2 国内外环形型超声电机的研究 | 第12-14页 |
1.4.3 近年环形超声电机的研究趋向 | 第14-15页 |
1.5 本文研究目标内容与研究意义 | 第15-18页 |
1.5.1 研究目标 | 第15页 |
1.5.2 研究内容 | 第15-16页 |
1.5.3 研究意义 | 第16页 |
1.5.4 创新点 | 第16-18页 |
2 压电陶瓷的性能表征与工艺研究 | 第18-30页 |
2.1 压电效应微观机理 | 第18-19页 |
2.2 固相反应法制备NKBT基无铅压电陶瓷 | 第19-23页 |
2.2.1 固相反应法制备样品的工艺流程 | 第19页 |
2.2.2 原料选择与称量 | 第19-20页 |
2.2.3 原料的混合粉粹 | 第20页 |
2.2.4 预烧 | 第20-21页 |
2.2.5 造粒 | 第21页 |
2.2.6 成型 | 第21页 |
2.2.7 排胶 | 第21页 |
2.2.8 烧结 | 第21-22页 |
2.2.9 被银极化 | 第22-23页 |
2.3 NKBT无铅压电陶瓷极化工艺优化 | 第23-26页 |
2.3.1 无铅压电陶瓷极化的单因素方差分析 | 第23-25页 |
2.3.2 正交试验因素水平极差分析 | 第25-26页 |
2.4 NKBT无铅压电陶瓷材料主要性能参数的测量 | 第26-29页 |
2.4.1 材料相组成测试与分析 | 第26-27页 |
2.4.2 样片体积密度 ρ 的测量 | 第27页 |
2.4.3 样片压电系数d_(33)的测量 | 第27-28页 |
2.4.4 样片厚度伸缩机电耦合系数k_t的测量 | 第28页 |
2.4.5 样片机械品质因数Qm的测量 | 第28页 |
2.4.6 样片介电性能的测量 | 第28-29页 |
2.5 NKBT与PZT-8 压电材料性能对比 | 第29-30页 |
3 NKBT基无铅压电陶瓷叠层驱动器研制 | 第30-41页 |
3.1 压电驱动的原理与驱动原件的选择 | 第30-31页 |
3.2 叠层驱动器驱动性能的有限元模拟 | 第31-35页 |
3.3 叠层驱动器样机制作与性能测试 | 第35-36页 |
3.4 外置放大机构的设计制作 | 第36-38页 |
3.5 外置放大机构的仿真模拟 | 第38-40页 |
3.6 外置放大机构的叠层微位移驱动器性能测试 | 第40-41页 |
4 环形无铅压电陶瓷超声电机优化设计与测试 | 第41-54页 |
4.1 环形超声电机的工作原理与设计技术路线 | 第41-42页 |
4.2 环形超声电机材料选择与关键部件的设计优化 | 第42-49页 |
4.2.1 环形超声电机定子外径的优化 | 第42-47页 |
4.2.2 环形电机定子内径的优化 | 第47-48页 |
4.2.3 环形超声电机定子的谐响应分析 | 第48-49页 |
4.2.4 环形超声电机定子的阻抗测试 | 第49页 |
4.3 环形超声电机的驱动电路系统设计 | 第49-52页 |
4.4 环形超声电机性能测试 | 第52-54页 |
5 结论与展望 | 第54-56页 |
5.1 本文主要的工作及结论 | 第54-55页 |
5.2 工作展望 | 第55-56页 |
致谢 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-61页 |
附录 | 第61页 |