| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 低气压低温等离子体的产生 | 第9-10页 |
| 1.2.2 低气压低温等离子体放电的模拟方法 | 第10-12页 |
| 1.2.3 等离子体仿真相关商业软件介绍 | 第12-13页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 影响辉光放电等离子体特性的理论分析 | 第15-27页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 气体放电的伏安特性 | 第15-17页 |
| 2.3 汤森放电理论 | 第17-21页 |
| 2.3.1 电子雪崩理论的基本概念 | 第17-18页 |
| 2.3.2 电子雪崩的计算 | 第18-19页 |
| 2.3.3 汤森第一电离系数 | 第19-21页 |
| 2.3.4 汤森第三电离系数 | 第21页 |
| 2.4 辉光放电结构和分布 | 第21-23页 |
| 2.5 辉光放电中带电粒子的基本运动 | 第23-26页 |
| 2.5.1 带电粒子的扩散运动 | 第23-24页 |
| 2.5.2 带电粒子的漂移运动 | 第24-26页 |
| 2.5.3 扩散系数与迁移率的关系 | 第26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 同轴网格空心阴极辉光放电等离子体的实验及结果分析 | 第27-42页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 等离子体发生装置和诊断系统简介 | 第27-31页 |
| 3.2.1 等离子体发生装置 | 第27-28页 |
| 3.2.2 等离子体参数的朗缪尔探针诊断 | 第28-31页 |
| 3.3 氩气放电实验及结果分析 | 第31-37页 |
| 3.3.1 气压对氩气放电的影响 | 第31-34页 |
| 3.3.2 氩气放电中等离子体参数的空间分布 | 第34-35页 |
| 3.3.3 放电功率对氩气放电的影响 | 第35-37页 |
| 3.4 空气放电实验及结果分析 | 第37-40页 |
| 3.4.1 气压对空气放电的影响 | 第37-38页 |
| 3.4.2 空气放电中等离子体参数的空间分布 | 第38-39页 |
| 3.4.3 放电功率对空气放电的影响 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 同轴网格空心阴极辉光放电过程的仿真及结果分析 | 第42-56页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 低温等离子体仿真模型的建立 | 第42-46页 |
| 4.2.1 流体模型的控制方程 | 第42-44页 |
| 4.2.2 氩气放电等离子体化学反应 | 第44-45页 |
| 4.2.3 仿真模型的边界条件 | 第45-46页 |
| 4.3 仿真结果分析 | 第46-53页 |
| 4.3.1 仿真参数设置 | 第46-47页 |
| 4.3.2 等离子体主要参量的时空分布 | 第47-53页 |
| 4.4 同轴网格空心阴极辉光放电等离子体实验与仿真结果对比 | 第53-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
