| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| ·铁电材料概述 | 第11-14页 |
| ·铁电材料 | 第11-12页 |
| ·铁电材料的分类 | 第12-13页 |
| ·铁电材料的发展历史及现状 | 第13-14页 |
| ·铁电材料的应用 | 第14-17页 |
| ·铁电存储器 | 第15-16页 |
| ·热释电红外探测器件 | 第16页 |
| ·微电子机械系统 | 第16-17页 |
| ·铁电薄膜制备技术 | 第17-23页 |
| ·磁控溅射法 | 第18页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第18-19页 |
| ·金属有机化学气相沉积法 | 第19-20页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第20-22页 |
| ·四种铁电薄膜制备工艺的比较 | 第22-23页 |
| ·SrBi_2Ta_2O_9 铁电材料 | 第23-28页 |
| ·SBT 的结构 | 第24-25页 |
| ·化学组成对SBT 铁电性能的影响 | 第25-27页 |
| ·SBT 铁电陶瓷的制备 | 第27-28页 |
| ·本论文的主要工作 | 第28-31页 |
| ·问题的提出 | 第28-29页 |
| ·主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第二章 实验部分 | 第31-37页 |
| ·实验方法 | 第31-33页 |
| ·实验设备及分析仪器 | 第31-32页 |
| ·主要化学试剂 | 第32-33页 |
| ·溶胶-凝胶实验过程 | 第33页 |
| ·陶瓷样品的制备 | 第33-34页 |
| ·样品结构分析与性能表征 | 第34-37页 |
| ·相结构分析 | 第34-35页 |
| ·形貌分析 | 第35页 |
| ·红外光谱分析 | 第35页 |
| ·热重分析 | 第35-36页 |
| ·介电性能测试 | 第36页 |
| ·铁电性能测试 | 第36-37页 |
| 第三章 原料的处理与钽酸锶铋溶胶的制备 | 第37-47页 |
| ·新鲜水合Ta_2O_5 的制备 | 第37-39页 |
| ·水热法制备新鲜水合Ta_2O_5 | 第37-39页 |
| ·HF 酸溶解Ta_2O_5 制备新鲜水合Ta_2O_5 | 第39页 |
| ·钽的有机前驱液制备 | 第39-41页 |
| ·草酸钽的制备 | 第39-40页 |
| ·柠檬酸钽的制备 | 第40-41页 |
| ·钽酸锶铋(SBT)溶胶的制备 | 第41-45页 |
| ·以氟钽酸和草酸钽做钽源制备SBT 溶胶 | 第42页 |
| ·以柠檬酸钽做钽源制备SBT 溶胶 | 第42-45页 |
| ·PH 值的确定. | 第43-44页 |
| ·柠檬酸和乙二醇用量的确定 | 第44-45页 |
| ·SBT 溶胶的红外光谱分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 钽酸锶铋粉体和陶瓷的制备、改性以及性能研究 | 第47-62页 |
| ·SBT 粉体的制备 | 第47-52页 |
| ·SBT 凝胶的红外光谱分析 | 第47-48页 |
| ·SBT 凝胶的热重分析 | 第48-50页 |
| ·粉体相组成的XRD 分析 | 第50-52页 |
| ·SBT 陶瓷的制备 | 第52-56页 |
| ·相结构分析 | 第52-53页 |
| ·介电性能分析 | 第53-55页 |
| ·铁电性能分析 | 第55-56页 |
| ·Ca 掺杂SBT 陶瓷研究 | 第56-60页 |
| ·相组成分析 | 第56-57页 |
| ·介电性能分析 | 第57-59页 |
| ·铁电性能分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 钽酸锶铋铁电薄膜的制备研究 | 第62-71页 |
| ·SBT 薄膜的制备 | 第62-64页 |
| ·基片的选择和处理 | 第62-63页 |
| ·薄膜制备的工艺过程 | 第63-64页 |
| ·SBT 薄膜制备工艺参数的确定 | 第64-66页 |
| ·溶胶浓度的确定 | 第64-65页 |
| ·干燥和热处理制度的确定 | 第65-66页 |
| ·不同工艺方法对SBT 薄膜的影响 | 第66-67页 |
| ·涂覆次数对薄膜相结构的影响 | 第67-69页 |
| ·SBT 薄膜的表面形貌 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 附件 | 第82页 |