| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-27页 |
| 1.1 选题的背景和意义 | 第9页 |
| 1.2 原位加热透射电子显微镜样品台/杆的发展现状 | 第9-19页 |
| 1.2.1 商业化的原位加热透射电子显微镜样品台/杆 | 第9-13页 |
| 1.2.2 实验室开发的原位应力、加热TEM样品台/杆 | 第13-19页 |
| 1.3 MEMS的研究现状 | 第19-25页 |
| 1.3.1 MEMS简介 | 第19-20页 |
| 1.3.2 高温微加热器研究现状 | 第20-24页 |
| 1.3.3 MEMS温度反馈 | 第24-25页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 MEMS微加热器的理论分析与结构尺寸设计 | 第27-35页 |
| 2.1 微加热器的基本原理 | 第27-29页 |
| 2.1.1 微加热器的基本要求和工作原理 | 第27页 |
| 2.1.2 微加热器的理论分析 | 第27-29页 |
| 2.2 微加热器的材料选取 | 第29-31页 |
| 2.2.1 基底支撑材料的选取 | 第29-30页 |
| 2.2.2 加热电阻、测温电阻材料的选取 | 第30-31页 |
| 2.3 微加热器的结构尺寸设计 | 第31-34页 |
| 2.3.1 微加热器的结构设计 | 第31-33页 |
| 2.3.2 微加热器的各部分尺寸设计 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 MEMS微加热器的有限元模拟 | 第35-49页 |
| 3.1 数值模拟综述 | 第35-36页 |
| 3.1.1 有限元分析简介 | 第35页 |
| 3.1.2 多物理场耦合分析 | 第35-36页 |
| 3.1.3 ANSYS软件简介 | 第36页 |
| 3.2 微加热器的建模与优化 | 第36-39页 |
| 3.2.1 建模准备 | 第36页 |
| 3.2.2 建模步骤 | 第36-39页 |
| 3.2.3 影响微加热器温度分布因素 | 第39页 |
| 3.3 微加热器的模拟结果分析 | 第39-46页 |
| 3.3.1 热沉梁的结构尺寸与微加热器的温度分布关系 | 第39-41页 |
| 3.3.2 加热区的形状尺寸与微加热器的温度分布关系 | 第41-44页 |
| 3.3.3 质量块的形状尺寸与微加热器的温度分布关系 | 第44-45页 |
| 3.3.4 高温造成微加热器的结构变形 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-49页 |
| 第4章 MEMS微加热器的工艺设计与尺寸评估 | 第49-57页 |
| 4.1 微加热器的工艺流程和掩膜设计 | 第49-54页 |
| 4.2 微加热器加工结果与实际尺寸 | 第54-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 MEMS微加热器的性能测试 | 第57-75页 |
| 5.1 微加热器自升温测试 | 第57-60页 |
| 5.2 微加热器测温测试 | 第60-67页 |
| 5.2.1 拉曼光谱测温 | 第60-63页 |
| 5.2.2 红外热像仪测温 | 第63-65页 |
| 5.2.3 电阻标定测温 | 第65-66页 |
| 5.2.4 温度验证测试 | 第66-67页 |
| 5.3 微加热器热响应测试 | 第67-68页 |
| 5.4 微加热器的使用寿命测试 | 第68-70页 |
| 5.5 微加热器的原位加热、拉伸测试 | 第70-73页 |
| 5.6 本章小结 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
