石英玻璃内飞秒激光光刻光栅衍射效率的研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1. 绪论 | 第10-13页 |
| 1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.2 问题的提出 | 第10-11页 |
| 1.3 本文的工作 | 第11-13页 |
| 2. 飞秒激光诱导光栅结构的研究进展 | 第13-30页 |
| 2.1 飞秒激光简介 | 第13页 |
| 2.2 飞秒激光脉冲产生机理及其发展历程 | 第13-15页 |
| 2.3 飞秒激光与材料作用机理 | 第15-24页 |
| 2.3.1 非线性传输过程 | 第16-19页 |
| 2.3.2 非线性光电离过程 | 第19-22页 |
| 2.3.3 雪崩电离 | 第22-24页 |
| 2.4 飞秒激光加工的特点 | 第24-26页 |
| 2.5 飞秒激光诱导材料作用的光栅结构 | 第26-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 3. 飞秒激光微加工实验系统 | 第30-36页 |
| 3.1 掺钛蓝宝石飞秒激光器 | 第30-32页 |
| 3.2 微加工光路装置 | 第32-33页 |
| 3.3 软件部分的介绍 | 第33-34页 |
| 3.4 微加工系统工作原理 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 4. 飞秒激光参数对光栅衍射效率的影响的研究 | 第36-41页 |
| 4.1 实验方法介绍 | 第36页 |
| 4.2 实验结果及分析 | 第36-40页 |
| 4.2.1 飞秒激光刻写功率对光栅衍射效率的影响 | 第36-39页 |
| 4.2.2 飞秒激光偏振方向对光栅衍射功率的影响 | 第39-40页 |
| 4.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 5. 多层光栅的衍射效率 | 第41-46页 |
| 5.1 实验装置介绍 | 第41页 |
| 5.2 实验结果及分析 | 第41-45页 |
| 5.2.1 一维、二维光栅的衍射功率 | 第41-42页 |
| 5.2.2 光栅常数对光栅衍射效率的影响 | 第42-43页 |
| 5.2.3 光栅层数对衍射效率的影响 | 第43-45页 |
| 5.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 6. 错位光栅的衍射效率 | 第46-51页 |
| 6.1 错位光栅的结构和刻蚀 | 第46-47页 |
| 6.2 实验结果及分析 | 第47-50页 |
| 6.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 7. 总结与展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
