| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第17-23页 |
| 1.1 研究的起源及目的 | 第17-18页 |
| 1.2 国内外纳米三坐标测量机（Nano-CMM）的研究进展 | 第18-21页 |
| 1.2.1 传统三坐标测量机和纳米三坐标测量机的区别 | 第18页 |
| 1.2.2 国内外纳米三坐标测量机研究现状 | 第18-21页 |
| 1.2.3 其他研究单位的Nano-CMM情况概览 | 第21页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 微纳米三坐标测量机整机结构及原理 | 第23-37页 |
| 2.1 整机架构 | 第23-29页 |
| 2.1.1 测量机主体机台 | 第23页 |
| 2.1.2 共平面二维运动台 | 第23-25页 |
| 2.1.3 测量机的驱动部件 | 第25-26页 |
| 2.1.4 测量机Z轴系统 | 第26-27页 |
| 2.1.5 测量机探头 | 第27页 |
| 2.1.6 机器坐标原点 | 第27-29页 |
| 2.2 微纳米三坐标测量机的测量传感原理 | 第29-35页 |
| 2.2.1 Michelson干涉仪测长原理 | 第29-31页 |
| 2.2.2 LDGI测长原理 | 第31-34页 |
| 2.2.3 基于自准直仪的二维角度测量原理 | 第34-35页 |
| 2.3 微纳米三坐标测量机已有进展及存在的问题 | 第35-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 微纳米三坐标测量机的性能改进 | 第37-57页 |
| 3.1 Z轴的结构及驱动方面的改进 | 第37-41页 |
| 3.1.1 Z轴低速爬行与过冲的解决办法 | 第37-38页 |
| 3.1.2 导轨的精度 | 第38-40页 |
| 3.1.3 驱动软件参数的整定 | 第40-41页 |
| 3.2 LDGI测长传感器的结构改进 | 第41-46页 |
| 3.2.1 LDGI误差分析 | 第41-43页 |
| 3.2.2 LDGI结构微调 | 第43-46页 |
| 3.3 探头的硬件优化 | 第46-56页 |
| 3.3.1 簧片的设计和蚀刻工艺 | 第47-48页 |
| 3.3.2 探头触发判断方法及触发后回零重复性 | 第48-50页 |
| 3.3.3 软件清零对探头触发重复性的影响 | 第50-51页 |
| 3.3.4 探头的动态稳定性研究 | 第51-52页 |
| 3.3.5 探头的静态稳定特性改进 | 第52-54页 |
| 3.3.6 恒温环境控制系统 | 第54-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 微纳米三坐标测量机误差分离与修正 | 第57-70页 |
| 4.1 误差分离与修正的相关定义 | 第57-60页 |
| 4.2 标准量示值误差分离 | 第60-62页 |
| 4.3 阿贝误差分离 | 第62-64页 |
| 4.4 线值误差分离 | 第64-66页 |
| 4.5 探测误差的分离 | 第66-68页 |
| 4.6 测量环境的保障 | 第68-69页 |
| 4.7 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 微纳米三坐标测量机的系统测试 | 第70-77页 |
| 5.1 测试方法及规划路径 | 第70-73页 |
| 5.1.1 测试方法 | 第70-71页 |
| 5.1.2 标准件夹持方法 | 第71-72页 |
| 5.1.3 测量路径的规划 | 第72-73页 |
| 5.2 Z方向的阶高测试结果 | 第73-74页 |
| 5.3 X方向的厚度测试结果 | 第74页 |
| 5.4 Y方向厚度测试结果 | 第74-75页 |
| 5.5 模拟扫描模式测量量块表面形貌 | 第75-76页 |
| 5.6 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-78页 |
| 6.1 研究总结 | 第77页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第80-81页 |
| 1）参加的学术交流与科研项目 | 第80页 |
| 2）发表的学术论文（含专利和软件著作权） | 第80页 |
| 3）获得的学术奖励 | 第80-81页 |
