| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·微位移测量技术的研究背景 | 第10-11页 |
| ·微位移测量技术的研究现状 | 第11-15页 |
| ·二维微位移测量技术的现状与发展趋势 | 第15-16页 |
| ·研究目标和意义 | 第16-17页 |
| ·论文主要研究内容 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第2章 基于激光角度传感器和平面光栅的二维微位移直接解耦测量原理 | 第18-27页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·激光角度传感器测量原理 | 第18-21页 |
| ·平面光栅原理 | 第21-23页 |
| ·基于激光角度传感器和平面光栅的二维微位移解祸测量原理 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 基于激光角度传感器和平面光栅的二维微位移直接解耦测量系统 | 第27-54页 |
| ·二维微位移直接解耦测量系统构建 | 第27-32页 |
| ·激光角度传感器系统设计 | 第28-31页 |
| ·平面光栅运动控制 | 第31-32页 |
| ·二维微位移直接解耦测量系统硬件研制 | 第32-44页 |
| ·四象限光电二极管特性 | 第33-36页 |
| ·前置放大电路 | 第36-37页 |
| ·反向放大电路 | 第37-38页 |
| ·滤波电路 | 第38-42页 |
| ·抗干扰技术 | 第42-44页 |
| ·二维微位移直接解耦测量系统的信号处理与软件设计 | 第44-53页 |
| ·LabVIEW平台简介 | 第44-46页 |
| ·基于LabVIEW的测量系统软件实现 | 第46-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 二维微位移直接解耦测量系统实验研究 | 第54-79页 |
| ·二维微位移直接解耦测量系统实验平台构建 | 第54-56页 |
| ·信号检测电路的稳定性测试 | 第56-61页 |
| ·激光源的稳定性测试 | 第56-58页 |
| ·电压源的稳定性测试 | 第58-59页 |
| ·前置放大电路稳定性测试 | 第59-60页 |
| ·激光角度传感器输出稳定性测试 | 第60-61页 |
| ·微角度测量实验结果及误差分析 | 第61-73页 |
| ·线性度及灵敏度 | 第64-67页 |
| ·重复性误差 | 第67页 |
| ·二维探测能力 | 第67-69页 |
| ·动态响应能力及分辨率 | 第69-71页 |
| ·实验误差分析 | 第71-73页 |
| ·二维微位移直接解耦测量系统实验 | 第73-78页 |
| ·二维微位移测量系统探测能力测试 | 第74-76页 |
| ·二维微位移测量系统二维解耦测量能力测试 | 第76-77页 |
| ·二维微位移测量系统精度及重复性误差 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第5章 总结及展望 | 第79-81页 |
| ·总结 | 第79-80页 |
| ·展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第85页 |
