| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| ·铁电材料的概况 | 第11-14页 |
| ·铁电材料的定义 | 第11页 |
| ·铁电材料的发展历史 | 第11-12页 |
| ·铁电材料的一些基本概念 | 第12-14页 |
| ·铁电薄膜材料 | 第14-19页 |
| ·铁电薄膜材料的分类 | 第14-15页 |
| ·铁电薄膜材料的制备技术 | 第15-16页 |
| ·铁电薄膜材料及器件失效的机制 | 第16-17页 |
| ·铁电薄膜材料的自极化 | 第17-19页 |
| ·BiFeO_3薄膜的结构特点及研究进展 | 第19-25页 |
| ·BiFeO_3晶体结构特点 | 第19-20页 |
| ·BiFeO_3薄膜的研究进展 | 第20-25页 |
| ·本课题研究的意义和目的 | 第25-26页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第26-27页 |
| 第二章 实验方案设计与研究方法 | 第27-35页 |
| ·实验原料和仪器设备 | 第27页 |
| ·BiFeO_3基薄膜的制备(以BiFe_(0.98-X)Ti_XZn_(0.02)O_3薄膜为例) | 第27-29页 |
| ·BiFeO_3基薄膜前驱体溶液的配置 | 第27-28页 |
| ·BiFeO_3基薄膜薄膜的制备工艺 | 第28-29页 |
| ·BiFeO_3基薄膜的结构及性能测试手段 | 第29-35页 |
| ·X射线衍射仪 | 第29-30页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第30-31页 |
| ·铁电测试仪 | 第31-32页 |
| ·原子力显微镜 | 第32-33页 |
| ·阻抗分析仪 | 第33-35页 |
| 第三章 预处理温度对BiFe_(0.94)Ti_(0.05)Zn_(0.01)O_3薄膜结构和性能的影响 | 第35-39页 |
| ·预处理温度对BiFe_(0.94)Ti_(0.05)Zn_(0.01)O_3薄膜结构的影响 | 第35-36页 |
| ·预处理温度对BiFe_(0.94)Ti_(0.05)Zn_(0.01)O_3薄膜电学性能的影响 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 第四章 退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜结构和性能的影响 | 第39-55页 |
| ·退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜结构的影响 | 第40-41页 |
| ·退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜的断面形貌的影响 | 第41-42页 |
| ·退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜漏电特性的影响 | 第42-46页 |
| ·退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜漏电流的影响 | 第43-45页 |
| ·退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜漏电机制的研究 | 第45-46页 |
| ·退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜铁电性能的研究 | 第46-50页 |
| ·退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜的抗击穿性能的研究 | 第50-51页 |
| ·退火温度对BiFe_(0.86)Ti_(0.12)Zn_(0.02)O_3薄膜介电性能的影响 | 第51-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第五章 La Ni O_3过渡层对Bi_(0.85)La_(0.15)FeO_3薄膜结构和性能的影响 | 第55-67页 |
| ·La Ni O_3过渡层对Bi_(0.85)La_(0.15)FeO_3薄膜结构的影响 | 第56-59页 |
| ·La Ni O_3过渡层对Bi_(0.85)La_(0.15)FeO_3薄膜电学性能的影响 | 第59-66页 |
| ·LaNiO3过渡层对Bi_(0.85)La_(0.15)FeO_3薄膜漏电流的影响 | 第59-60页 |
| ·LaNiO3过渡层对Bi_(0.85)La_(0.15)FeO_3薄膜电滞回线的影响 | 第60-63页 |
| ·LaNiO3过渡层对Bi_(0.85)La_(0.15)FeO_3薄膜保持性能的影响 | 第63-64页 |
| ·LaNiO3过渡层对Bi_(0.85)La_(0.15)FeO_3薄膜疲劳性能的影响 | 第64-65页 |
| ·LaNiO3过渡层对Bi_(0.85)La_(0.15)FeO_3薄膜归一化对脉冲宽度的依赖关系 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·主要结论 | 第67页 |
| ·主要创新点 | 第67-68页 |
| ·工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 附录 | 第79页 |
