激光差动共焦干涉元件参数测量关键技术
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·论文的研究背景与意义 | 第10-12页 |
| ·仪器研究现状分析 | 第12-18页 |
| ·激光差动共焦测量技术 | 第18-20页 |
| ·本论文主要研究目的与意义 | 第20-22页 |
| 第二章 激光差动共焦干涉元件参数测量原理 | 第22-33页 |
| ·激光差动共焦测量原理 | 第22-23页 |
| ·激光差动共焦测量曲率半径测量原理 | 第23-26页 |
| ·移相干涉测量原理 | 第26-29页 |
| ·相位解包裹算法 | 第29-31页 |
| ·Zernike多项式波面拟合算法 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 激光差动共焦干涉光路优化 | 第33-38页 |
| ·激光差动共焦模块光路设计 | 第33-34页 |
| ·系统准直镜设计 | 第34-35页 |
| ·差动共焦测量模块对移相干涉模块的影响分析 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 差动共焦干涉元件参数测量系统构建 | 第38-46页 |
| ·测量系统总体构成 | 第38-39页 |
| ·系统分光光路的结构 | 第39-40页 |
| ·干涉测量模块结构设计 | 第40-41页 |
| ·仪器测量软件 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 系统测量实验验证与不确定度评定 | 第46-63页 |
| ·实验装置 | 第46页 |
| ·曲率半径误差分析与不确定度评定 | 第46-49页 |
| ·干涉仪的测长误差 | 第47页 |
| ·定焦误差 | 第47-48页 |
| ·离轴误差 | 第48页 |
| ·被测镜面形误差 | 第48页 |
| ·测量重复性给出的不确定度分量 | 第48-49页 |
| ·合成不确定度 | 第49页 |
| ·激光差动共焦曲率半径测量实验 | 第49-52页 |
| ·干涉测量模块对曲率半径测量模块影响实验分析 | 第52-54页 |
| ·移相干涉面形测量实验 | 第54-62页 |
| ·移相器校准与同轴性调整 | 第55页 |
| ·移相干涉面形测量误差分析 | 第55-56页 |
| ·干涉面形测量 | 第56-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
