| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·新能源的发展 | 第9-13页 |
| ·纳米发电机 | 第13-21页 |
| ·压电纳米发电机 | 第13-14页 |
| ·热电纳米发电机 | 第14-16页 |
| ·摩擦纳米发电机 | 第16-21页 |
| ·本文选题思路与研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 摩擦纳米发电机的工作原理及其制备工艺 | 第23-31页 |
| ·绝缘体-金属接触分离式摩擦纳米发电机的工作原理 | 第23-24页 |
| ·光刻工艺 | 第24-26页 |
| ·硅材料湿法腐蚀工艺 | 第26-28页 |
| ·硅材料金属催化化学腐蚀工艺 | 第28-31页 |
| 第三章 基于双面微纳尺度结构摩擦纳米发电机的制备 | 第31-53页 |
| ·实验材料及设备 | 第31-33页 |
| ·结构设计 | 第33-35页 |
| ·理论分析 | 第35-36页 |
| ·仿真分析及工作机制 | 第36-39页 |
| ·摩擦层的制备 | 第39-48页 |
| ·具有微纳双重结构硅模板的制备 | 第39-46页 |
| ·具有微纳双重结构PDMS薄膜的制备 | 第46-48页 |
| ·电极层的制备 | 第48-50页 |
| ·摩擦纳米发电机的组装 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 基于双面微纳尺度结构摩擦纳米发电机的性能测试与分析 | 第53-65页 |
| ·测试系统 | 第53页 |
| ·输出性能。 | 第53-54页 |
| ·双层摩擦结构输出性能增强特性的研究 | 第54-56页 |
| ·双面微纳尺度结构输出性能增强特性的研究 | 第56-59页 |
| ·负载驱动能力 | 第59-60页 |
| ·老化测试 | 第60-62页 |
| ·器件驱动能力 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-68页 |
| ·研究工作的总结 | 第65-66页 |
| ·研究工作的展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 在学期间的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |