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磁控溅射WO3薄膜电致变色性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-26页
   ·电致变色及电致变色器件第10-14页
     ·电致变色材料第11-12页
     ·电致变色器件第12-14页
     ·电致变色性能指标第14页
   ·电致变色WO_3薄膜研究现状第14-22页
     ·WO_3薄膜结构第14-15页
     ·WO_3薄膜电致变色机理研究现状第15-17页
     ·磁控溅射制备WO_3薄膜研究现状第17-22页
   ·WO_3薄膜基全固态器件研究现状第22-24页
   ·论文研究内容及意义第24-26页
     ·研究内容第24页
     ·研究意义第24-26页
2 薄膜的制备方法及表征技术第26-30页
   ·薄膜的磁控溅射制备方法第26-27页
   ·薄膜表征测试方法第27-30页
     ·X射线衍射第27页
     ·场发射扫描电子显微镜第27-28页
     ·光学性能测试第28-29页
     ·电致变色性能测试第29-30页
3 磁控溅射WO_3薄膜制备与成分结构表征第30-36页
   ·WO_3/ITO的制备第30页
   ·WO_3薄膜X射线衍射分析第30-32页
   ·WO_3薄膜SEM分析第32-34页
   ·WO_3薄膜的折射率及密度第34-35页
   ·本章小结第35-36页
4 磁控溅射WO_3薄膜的电致变色性能第36-42页
   ·WO_3薄膜电致变色反应三电极体系第36页
   ·磁控溅射WO_3薄膜的循环伏安特性第36-39页
   ·磁控溅射WO_3薄膜的电致变色时间响应及光学调制特性第39-41页
   ·本章小结第41-42页
5 磁控溅射WO_3电致变色薄膜循环寿命第42-47页
   ·引言第42页
   ·SiO_2保护层的制备及对WO_3薄膜循环伏安特性的影响第42-43页
   ·SiO_2保护层对WO_3薄膜在无机H~+电解质中循环寿命的影响第43-44页
   ·SiO_2保护层对WO_3薄膜在有机Li~+电解质中循环寿命的影响第44-46页
   ·本章小结第46-47页
6 WO_3薄膜基固态电致变色器件第47-50页
   ·Glass/ITO/WO_3/Gel Electrolyte/ITO/Glass电致变色器件的组装第47页
   ·Glass/ITO/WO_3/Gel Electrolyte/ITO/Glass器件的电致变色性能第47-49页
   ·本章小结第49-50页
结论第50-51页
参考文献第51-58页
攻读硕士学位期间取得的成果第58-59页
致谢第59页

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