| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·ZnO简介 | 第10-11页 |
| ·ZnO薄膜制备方法介绍 | 第11-12页 |
| ·磁控溅射法(MS) | 第11页 |
| ·金属有机物化学气相沉积法(MOCVD) | 第11-12页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第12页 |
| ·分子束外延法(MBE) | 第12页 |
| ·溶胶凝胶法(Sol-gel) | 第12页 |
| ·喷雾热解法(SP) | 第12页 |
| ·衬底温度在SP法制备Zn O薄膜过程中的重要性 | 第12-15页 |
| ·ZnO薄膜在聚合物太阳能电池(PSC)中的应用 | 第15-18页 |
| ·PSC简介 | 第15页 |
| ·体异质结PSC的结构与工作原理 | 第15-17页 |
| ·PSC的主要性能参数 | 第17页 |
| ·ZnO薄膜作为PSC器件ETL的性能 | 第17-18页 |
| ·本文主要研究工作 | 第18-20页 |
| 2 SP法制备ZnO薄膜的基础及表征 | 第20-24页 |
| ·SP技术的设备与工作原理 | 第20-21页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜沉积过程的影响 | 第21-22页 |
| ·主要原料及相关仪器检测设备 | 第22-23页 |
| ·主要原料与设备 | 第22页 |
| ·Zn O薄膜的主要表征手段与设备 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 基于可溶性锌盐溶液SP法制备ZnO薄膜研究 | 第24-38页 |
| ·基于Zn(NO3)2 溶液SP法制备Zn O薄膜工艺流程 | 第24-28页 |
| ·前驱液配置 | 第24页 |
| ·衬底清洗 | 第24-25页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第25-28页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜的结构与形貌影响 | 第28-29页 |
| ·ZnO薄膜晶体结构 | 第28页 |
| ·ZnO薄膜的表面、断面形貌 | 第28-29页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜的性能影响 | 第29-31页 |
| ·ZnO薄膜光学性能 | 第29-30页 |
| ·ZnO薄膜电学性能 | 第30-31页 |
| ·其他制备工艺参数对制备ZnO薄膜的影响 | 第31-33页 |
| ·前驱液浓度的影响 | 第31-32页 |
| ·影响薄膜宏观形貌的因素 | 第32页 |
| ·衬底材质的影响 | 第32-33页 |
| ·ZnO薄膜的掺杂 | 第33页 |
| ·ZnO薄膜作为PSC器件ETL的性能 | 第33-37页 |
| ·ZnO ETL制备 | 第33页 |
| ·PSC器件制备 | 第33-35页 |
| ·PSC器件的性能测试 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 低温超声喷雾热解法(LT-USP)制备Zn O薄膜及其对反型PSC器件性能的影响 | 第38-56页 |
| ·锌氨溶液的热稳定性研究 | 第38-39页 |
| ·LT-USP法制备ZnO薄膜的工艺 | 第39-42页 |
| ·前驱液的配制 | 第39-40页 |
| ·衬底的清洗 | 第40页 |
| ·Zn O薄膜的制备 | 第40-42页 |
| ·ZnO薄膜成分、结构、形貌和性能的表征 | 第42-49页 |
| ·成分分析 | 第42-44页 |
| ·结构分析 | 第44-45页 |
| ·表面和断面形貌分析 | 第45-48页 |
| ·Zn O薄膜光学性能分析 | 第48-49页 |
| ·基于LT-USP制备ZnO ETL的PSC器件 | 第49-55页 |
| ·Zn O ETL的制备 | 第49页 |
| ·PSC器件制备 | 第49-50页 |
| ·PSC器件的性能研究 | 第50-54页 |
| ·基于ZnO薄膜的大面积、柔性PSC器件初步研究 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第56-57页 |
| ·展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第66页 |