有机溶胶—凝胶法制备VO2薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-28页 |
| ·引言 | 第11-15页 |
| ·二氧化钒基本结构及相变机理 | 第15-17页 |
| ·掺杂对VO_2材料性能的影响 | 第17-18页 |
| ·VO_2薄膜的制备方法 | 第18-24页 |
| ·溅射法 | 第18页 |
| ·真空蒸镀法 | 第18-19页 |
| ·化学气相沉积法 | 第19-21页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第21页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第21-24页 |
| ·薄膜的成膜机理 | 第24-27页 |
| ·本论文研究内容及意义 | 第27-28页 |
| 第二章 有机溶胶凝胶法制备VO_2薄膜工艺 | 第28-37页 |
| ·原材料与实验设备 | 第28-29页 |
| ·原材料 | 第28页 |
| ·实验设备 | 第28-29页 |
| ·薄膜的制备 | 第29-32页 |
| ·镀膜前驱液的制备 | 第29-30页 |
| ·乙酰丙酮氧钒制备VO_2薄膜前驱液 | 第29页 |
| ·五氧化二钒还原法制备VO_2薄膜前驱液 | 第29-30页 |
| ·TiO_2薄膜镀膜液的制备 | 第30页 |
| ·薄膜的制备 | 第30-32页 |
| ·玻璃基片的清洗 | 第30-31页 |
| ·薄膜制备 | 第31-32页 |
| ·相关测试方法 | 第32-37页 |
| ·XRD分析 | 第33-34页 |
| ·SEM分析 | 第34-35页 |
| ·可见-紫外分光光度计 | 第35-37页 |
| 第三章 实验及结果分析 | 第37-62页 |
| ·乙酰丙酮氧钒前驱体制备VO_2薄膜 | 第37-44页 |
| ·提拉法镀膜 | 第37-41页 |
| ·旋涂法镀膜 | 第41-44页 |
| ·草酸还原法制备VO_2薄膜 | 第44-52页 |
| ·掺钨氧化钒薄膜的制备 | 第52-55页 |
| ·TiO_2薄膜的制备 | 第55-58页 |
| ·TiO_2/VO_2薄膜的制备 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 结论与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 发表的论文 | 第68页 |
