离子束能量测试技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-14页 |
| ·等离子体材料表面改性技术应用 | 第9-12页 |
| ·离子源的分类及简介 | 第12-14页 |
| ·国内外发展现状 | 第14-16页 |
| ·国外研究现状 | 第14-15页 |
| ·国内研究现状 | 第15-16页 |
| ·本文主要研究内容及章节安排 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 2 离子能量分析仪的原理及基本理论 | 第17-24页 |
| ·栅网式离子能量分析仪的原理研究 | 第17-18页 |
| ·等离子体的基本特征量 | 第18-22页 |
| ·粒子密度和电离度 | 第18页 |
| ·等离子体温度 | 第18-19页 |
| ·等离子体的时空特征 | 第19-20页 |
| ·等离子体鞘层 | 第20-22页 |
| ·栅网间距的理论确定 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 离子能量分析仪的模拟研究 | 第24-39页 |
| ·静电透镜模拟软件简介 | 第24-28页 |
| ·Simion主界面介绍 | 第24-25页 |
| ·Simion的GUI | 第25-28页 |
| ·理论建模 | 第28-34页 |
| ·Simion基本原理 | 第28-30页 |
| ·应用Simion建模 | 第30-34页 |
| ·网格参数的理论模拟 | 第34-37页 |
| ·不同网格间距的模拟分析 | 第34-36页 |
| ·不同网格大小的模拟分析 | 第36页 |
| ·不同细丝直径的模拟分析 | 第36-37页 |
| ·负偏压的理论模拟 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 离子能量分析仪的设计和数据处理软件的编写 | 第39-47页 |
| ·离子能量分析仪结构设计 | 第39-40页 |
| ·离子能量分析仪电源设计 | 第40-41页 |
| ·数据处理软件的编写 | 第41-44页 |
| ·MATLAB软件概述 | 第41-43页 |
| ·MATLAB软件GUI介绍 | 第43-44页 |
| ·数据处理软件验证 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 离子能量分析仪的实验研究 | 第47-59页 |
| ·实验设备简介 | 第47-50页 |
| ·真空设备简介 | 第47-48页 |
| ·宽束冷阴极离子源简介 | 第48-50页 |
| ·离子能量的测试研究 | 第50-56页 |
| ·不同引出电压下的离子能量分布 | 第51-52页 |
| ·不同真空度下的离子能量分布 | 第52-53页 |
| ·不同工作高度的离子能量分布 | 第53-54页 |
| ·不同径向偏移的离子能量分布 | 第54-55页 |
| ·不同种类气体的离子能量分布 | 第55-56页 |
| ·离子能量分析仪的稳定性研究 | 第56-58页 |
| ·不同引出电压下的稳定性研究 | 第56-57页 |
| ·不同工作真空度的稳定性研究 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·结论 | 第59页 |
| ·展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
