| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| §1.1 引言 | 第11-12页 |
| §1.2 太阳能电池的国内外发展现状 | 第12-15页 |
| §1.3 太阳能电池的原理及工艺 | 第15-20页 |
| ·太阳能电池的工作原理 | 第15-19页 |
| ·太阳能电池的制备工艺 | 第19-20页 |
| §1.4 太阳能电池表面薄膜减反射钝化原理 | 第20-22页 |
| §1.5 晶体硅太阳电池减反射钝化薄膜的研究现状及不足 | 第22-23页 |
| §1.6 非晶碳化硅（a-SiCx:H）薄膜的研究进展 | 第23-24页 |
| §1.7 本论文的主要研究内容及组织 | 第24-26页 |
| ·本论文研究内容 | 第24-25页 |
| ·本论文的组织 | 第25-26页 |
| 第二章 a-SiCx:H 薄膜的制备工艺与表征 | 第26-37页 |
| §2.1 RF-PECVD 沉积设备 | 第26-27页 |
| ·PECVD 设备的简介 | 第26页 |
| ·PECVD 系统的工作原理 | 第26-27页 |
| §2.2 实验设计方案 | 第27-33页 |
| ·实验材料的选择 | 第27-28页 |
| ·衬底的清洗 | 第28-29页 |
| ·样品制备的方案 | 第29-31页 |
| ·a-SiCx:H 薄膜减反射实验 | 第31-32页 |
| ·a-SiCx:H 和 a-SiNx:H 薄膜减反射对比试验 | 第32页 |
| ·薄膜制备的实验步骤 | 第32-33页 |
| §2.3 非晶碳化硅薄膜的表征方法 | 第33-37页 |
| ·X 射线光电子能谱（XPS） | 第33页 |
| ·傅里叶红外变换光谱（FTIR） | 第33-34页 |
| ·X 射线衍射仪（XRD） | 第34-35页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第35页 |
| ·紫外可见分光光度计（UV-VIS） | 第35页 |
| ·光学性能测试系统（NKD） | 第35-36页 |
| ·少数载流子测试系统 | 第36-37页 |
| 第三章 制备条件对 a-SiCx:H 薄膜的性质影响的研究 | 第37-58页 |
| §3.1 流量比对 a-SiCx:H 薄膜的结构和性能的影响 | 第37-45页 |
| ·不同流量比时 a-SiCx:H 薄膜的化学结构 | 第37-38页 |
| ·不同流量比对 a-SiCx:H 薄膜中 C/Si 元素比的影响 | 第38-40页 |
| ·不同流量比对 a-SiCx:H 薄膜生长速率的影响 | 第40-41页 |
| ·不同流量比时 a-SiCx:H 薄膜的折射率 | 第41页 |
| ·不同流量比时 a-SiCx:H 薄膜的光学带隙 | 第41-43页 |
| ·不同流量比时 a-SiCx:H 薄膜的表面形貌 | 第43-44页 |
| ·不同流量比对 a-SiCx:H 薄膜少子寿命的影响 | 第44-45页 |
| §3.2 衬底温度对 a-SiCx:H 薄膜的性能的影响 | 第45-51页 |
| ·不同衬底温度对 a-SiCx:H 薄膜中 C、Si 元素比的影响 | 第45-46页 |
| ·不同衬底温度对 a-SiCx:H 薄膜生长速率的影响 | 第46-47页 |
| ·不同衬底温度时 a-SiCx:H 薄膜的折射率 | 第47-48页 |
| ·不同衬底温度时 a-SiCx:H 薄膜的光学带隙 | 第48-49页 |
| ·不同衬底温度时 a-SiCx:H 薄膜的表面形貌 | 第49-50页 |
| ·不同衬底温度对 a-SiCx:H 薄膜少子寿命的影响 | 第50-51页 |
| §3.3 功率密度对 a-SiCx:H 薄膜的性能的影响 | 第51-57页 |
| ·不同功率密度对 a-SiCx:H 薄膜中 C、Si 元素比的影响 | 第51-52页 |
| ·不同功率密度对 a-SiCx:H 薄膜生长速率的影响 | 第52-53页 |
| ·不同功率密度时 a-SiCx:H 薄膜的折射率 | 第53-54页 |
| ·不同功率密度时 a-SiCx:H 薄膜的光学带隙 | 第54-55页 |
| ·不同功率密度时 a-SiCx:H 薄膜的表面形貌 | 第55-56页 |
| ·不同功率密度对 a-SiCx:H 薄膜少子寿命的影响 | 第56-57页 |
| §3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 a-SiCx:H 薄膜的减反射性能研究 | 第58-62页 |
| §4.1 a-SiCx:H 薄膜的正交试验分析 | 第58-60页 |
| §4.2 a-SiCx:H 和 a-SiNx:H 薄膜减反射对比试验 | 第60-61页 |
| §4.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 结论与展望 | 第62-64页 |
| §5.1 结论 | 第62-63页 |
| §5.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读硕士期间论文发表情况 | 第70页 |
