摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第7-11页 |
·现代光学薄膜发展及应用 | 第7-8页 |
·研究背景及内容 | 第8-9页 |
·课题研究的目的及意义 | 第9-11页 |
第二章 薄膜光学理论基础 | 第11-23页 |
·光学薄膜特性的理论计算 | 第11-17页 |
·减反射膜 | 第17-19页 |
·全介质高反射膜 | 第19-21页 |
·干涉截止滤光片的膜系理论 | 第21-23页 |
第三章 薄膜的理论设计 | 第23-32页 |
·材料的选择 | 第23-28页 |
·膜系设计 | 第28-32页 |
第四章 薄膜的制备 | 第32-45页 |
·镀膜设备 | 第32-37页 |
·监控方法 | 第37-40页 |
·膜厚均匀性 | 第40-43页 |
·制备工艺 | 第43-45页 |
第五章 薄膜的测试与分析 | 第45-49页 |
第六章 总结 | 第49-50页 |
致谢 | 第50-51页 |
参考文献 | 第51页 |