微小模数齿轮测量用伺服驱动技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·微小位移伺服驱动技术研究现状 | 第9-15页 |
| ·传统机械式微位移系统 | 第9-10页 |
| ·直线电机驱动的微位移系统 | 第10-12页 |
| ·基于智能性材料的微位移系统 | 第12-15页 |
| ·压电精密驱动器的研究现状 | 第15-18页 |
| ·压电超声波驱动器 | 第15-16页 |
| ·压电直动式驱动器 | 第16-17页 |
| ·压电步进驱动器 | 第17-18页 |
| ·压电双晶片驱动 | 第18页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 总体方案设计 | 第20-23页 |
| ·伺服驱动总体方案设计 | 第20-21页 |
| ·伺服驱动总体方案的选择 | 第20-21页 |
| ·测量运动的实现方法 | 第21页 |
| ·伺服驱动控制系统设计 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 Z轴和旋转轴驱动系统设计 | 第23-33页 |
| ·Z轴驱动系统的设计 | 第23-24页 |
| ·Z轴驱动要求 | 第23页 |
| ·Z轴精密定位工作台的选型 | 第23-24页 |
| ·旋转轴驱动系统的设计 | 第24-32页 |
| ·无框电机的选型 | 第25-26页 |
| ·无框电机的固定装置的设计 | 第26-28页 |
| ·主轴系统的设计 | 第28-31页 |
| ·主轴系统其它部件及整体安装 | 第31-32页 |
| ·微小模数齿轮测量用夹具设计 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 R轴粗进给系统设计 | 第33-38页 |
| ·滚珠丝杠的选型 | 第33-35页 |
| ·工作载荷的计算 | 第33页 |
| ·额定动载荷的计算 | 第33-34页 |
| ·初选丝杠型号 | 第34页 |
| ·牙长以及传动效率的计算 | 第34页 |
| ·刚度校验 | 第34-35页 |
| ·滚珠丝杠支承方式的选择 | 第35-36页 |
| ·导轨的选型 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 5 R轴精密进给系统设计 | 第38-47页 |
| ·R轴精密进给移驱动器的选择 | 第38-39页 |
| ·压电双晶片的选型、电气连接及安装方式 | 第39-42页 |
| ·压电双晶片的选型 | 第39-40页 |
| ·压电双晶片的电气连接方式 | 第40-41页 |
| ·压电双晶片的安装方式 | 第41-42页 |
| ·压电双晶片致动器驱动电源的设计 | 第42-46页 |
| ·驱动电源的要求 | 第42页 |
| ·压电双晶片致动器驱动方案选择 | 第42页 |
| ·驱动电源核心器件的选取 | 第42-43页 |
| ·电路设计 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 6 压电双晶片致动器控制系统设计 | 第47-58页 |
| ·控制系统工作原理 | 第47页 |
| ·压电双晶片致动器控制系统核心部件的选型 | 第47-48页 |
| ·硬件电路设计 | 第48-57页 |
| ·硬件电路总体设计原理图 | 第48-49页 |
| ·时钟电路的设计 | 第49-51页 |
| ·复位电路的设计 | 第51-52页 |
| ·电源电路的设计 | 第52页 |
| ·JTAG/SWD调试下载接口 | 第52-53页 |
| ·D/A转换电路的设计 | 第53-55页 |
| ·A/D转换电路的设计 | 第55-56页 |
| ·单端信号转差分信号电路设计 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 7 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
