基于COMSOL的Ka波段分布式MEMS移相器的结构—热耦合分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-24页 |
| ·MEMS的概述 | 第8-9页 |
| ·MEMS的研究背景 | 第8页 |
| ·MEMS的定义 | 第8-9页 |
| ·RF MEMS的研究与应用现状 | 第9-18页 |
| ·RF MEMS的研究背景 | 第9页 |
| ·RF MEMS的基本理论与发展动态 | 第9-16页 |
| ·RF MEMS在相控阵中的应用 | 第16-18页 |
| ·MEMS移相器的研究与应用现状 | 第18-22页 |
| ·MEMS移相器的研究背景 | 第18-19页 |
| ·MEMS移相器的国内外发展动态 | 第19-22页 |
| ·本文工作 | 第22-24页 |
| 第二章 MEMS移相器的基本理论 | 第24-30页 |
| ·MEMS移相器的概述 | 第24-26页 |
| ·MEMS移相器的分类 | 第24-25页 |
| ·MEMS移相器的优缺点 | 第25页 |
| ·MEMS移相器的技术指标 | 第25-26页 |
| ·与MEMS移相器相关的MEMS元器件 | 第26-28页 |
| ·MEMS移相器在相控阵中的应用 | 第28页 |
| ·RF MEMS需解决的问题 | 第28-30页 |
| 第三章 分布式MEMS移相器的设计与性能优化 | 第30-46页 |
| ·COMSOL Multiphysics简介 | 第30页 |
| ·分布式MEMS移相器的设计与性能仿真 | 第30-41页 |
| ·分布式MEMS移相器的主要组成 | 第30-31页 |
| ·几何结构创建 | 第31-32页 |
| ·材料设置 | 第32-33页 |
| ·网格剖分 | 第33页 |
| ·机电物理场 | 第33-37页 |
| ·电磁物理场 | 第37-41页 |
| ·分布式MEMS移相器的优化设计 | 第41-46页 |
| ·分布式MEMS移相器的结构优化 | 第41-42页 |
| ·分布式MEMS移相器的尺寸优化 | 第42-46页 |
| 第四章 分布式MEMS移相器的结构-热耦合仿真 | 第46-52页 |
| ·RF MEMS器件带来的相控阵天线热损耗的减少 | 第46-47页 |
| ·MEMS移相器带来的相控阵天线热损耗的减少 | 第47页 |
| ·MEMS移相器的结构—热耦合分析 | 第47-52页 |
| ·MEMS移相器的温度场分析 | 第48-49页 |
| ·MEMS移相器的结构参数对温度的影响 | 第49-52页 |
| 第五章 工作总结与研究展望 | 第52-54页 |
| ·工作总结 | 第52页 |
| ·研究展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-64页 |
| 研究成果 | 第64-65页 |
