| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·真空电弧离子镀原理 | 第7-8页 |
| ·真空电弧离子镀技术发展概况 | 第8-12页 |
| ·靶材的分类及应用 | 第12-15页 |
| ·课题主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 真空电弧离子镀用阴极靶材外套的研制 | 第16-31页 |
| ·外套铸造工艺的研究 | 第16-17页 |
| ·AL-SI-Y合金变质剂研制 | 第17-21页 |
| ·阴极靶材外套的铸造工艺设计 | 第21-25页 |
| ·阴极靶材外套热处理 | 第25-28页 |
| ·结果分析 | 第28-31页 |
| 第三章 阴极靶材的表面活化工艺的研究 | 第31-43页 |
| ·研究内容 | 第31页 |
| ·阴极靶材上涂覆功能性导电铜镀层的研究 | 第31-39页 |
| ·阴极靶材镀铜层上浸锡及化学锡工艺研究 | 第39-43页 |
| 第四章 阴极靶材钎焊工艺的研究 | 第43-46页 |
| ·钎焊焊料的确定 | 第43页 |
| ·焊料熔化工艺的确定 | 第43-45页 |
| ·阴极靶材的预热与焊料浇注温度 | 第45页 |
| ·钎焊工艺的确定 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |