超宽光谱分色滤光膜的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·薄膜的发展历史 | 第7页 |
| ·薄膜设计基本理论 | 第7-10页 |
| ·麦克斯韦方程 | 第7-8页 |
| ·平面电磁波 | 第8页 |
| ·光学导纳 | 第8-9页 |
| ·菲涅耳公式 | 第9-10页 |
| ·多层膜系的导纳和特征矩阵 | 第10页 |
| ·本课题的研究内容 | 第10-11页 |
| ·目前国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文的工作 | 第12-13页 |
| 2 薄膜制备设备 | 第13-23页 |
| ·真空及真空系统 | 第13-15页 |
| ·真空的定义 | 第13页 |
| ·真空在薄膜制备过程中的作用 | 第13-14页 |
| ·真空系统 | 第14-15页 |
| ·热蒸发镀膜 | 第15-17页 |
| ·电阻加热蒸发 | 第15-16页 |
| ·电子束加热蒸发 | 第16-17页 |
| ·离子辅助淀积 | 第17-18页 |
| ·薄膜厚度的监控 | 第18-21页 |
| ·光学厚度监控 | 第18-20页 |
| ·石英晶体监控 | 第20-21页 |
| ·本课题所用设备介绍 | 第21-23页 |
| 3 薄膜的材料选择和材料光学常数的获取 | 第23-40页 |
| ·薄膜材料的选择 | 第23-24页 |
| ·高折射率材料的选择 | 第23-24页 |
| ·低折射率材料的选择 | 第24页 |
| ·薄膜材料光学常数确定的理论计算 | 第24-31页 |
| ·透明薄膜的光学常数确定 | 第25-27页 |
| ·弱吸收薄膜光学常数的确定 | 第27-31页 |
| ·薄膜材料光学常数获取的实际过程 | 第31-40页 |
| 4 膜系的设计、镀制和结果分析 | 第40-52页 |
| ·光学薄膜的优化 | 第40-42页 |
| ·评价函数 | 第40页 |
| ·常用光学薄膜的优化设计方法 | 第40-42页 |
| ·薄膜设计软件 | 第42页 |
| ·TFCalc | 第42页 |
| ·Essential Macleod | 第42页 |
| ·OptiLayer | 第42页 |
| ·分色膜的膜系设计 | 第42-48页 |
| ·以规整长波通膜系为初始结构的设计 | 第43-46页 |
| ·利用软件自动优化的膜系设计 | 第46-48页 |
| ·两种设计结果的对比选择 | 第48页 |
| ·膜层的镀制 | 第48-50页 |
| ·分色片光学性能的测试分析 | 第50-52页 |
| 5 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
