基于相位调制的激光干涉位移测量系统关键技术研究
| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-15页 |
| 1 绪论 | 第15-24页 |
| ·论文的研究背景 | 第15-16页 |
| ·激光干涉测量技术的发展现状及研究意义 | 第16-22页 |
| ·单频激光干涉测量技术 | 第16-19页 |
| ·双频激光干涉测量技术 | 第19-22页 |
| ·论文的工作目标 | 第22-24页 |
| 2 测量系统设计 | 第24-38页 |
| ·系统架构 | 第24-25页 |
| ·光路设计 | 第25-29页 |
| ·光路结构设计 | 第26-27页 |
| ·相位调制技术 | 第27-28页 |
| ·基于偏振原理的干涉系统 | 第28-29页 |
| ·琼斯矩阵光路分析法 | 第29-33页 |
| ·干涉光路光学器件的选取 | 第33-35页 |
| ·光源的选取 | 第33-34页 |
| ·光学元件的选取 | 第34-35页 |
| ·实验光路的调试 | 第35-37页 |
| ·光学零件调整架的选择 | 第35页 |
| ·光路的调试 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 3 信号处理系统设计 | 第38-57页 |
| ·压电陶瓷驱动 | 第38-45页 |
| ·信号发生器的选取 | 第38-39页 |
| ·压电陶瓷驱动器（PZT）的选取 | 第39-42页 |
| ·压电陶瓷驱动器（PZT）的性能测试 | 第42-44页 |
| ·信号发生部分的参数设置 | 第44-45页 |
| ·信号解调部分 | 第45-56页 |
| ·激光干涉测量系统电路设计 | 第45-53页 |
| ·激光干涉测量系统软件设计 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 4 系统性能分析 | 第57-62页 |
| ·环境误差 | 第57-59页 |
| ·日光灯引起的噪声误差 | 第57-58页 |
| ·机械振动及空气扰动引起的误差 | 第58页 |
| ·温度变化引起的误差 | 第58-59页 |
| ·光学误差 | 第59-60页 |
| ·电路误差 | 第60页 |
| ·实验比对 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 总结和展望 | 第62-64页 |
| ·本论文主要工作总结 | 第62页 |
| ·研究展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第67-68页 |
