| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O 材料的物理性质 | 第11-19页 |
| ·日盲紫外波段探测介绍 | 第19-21页 |
| ·MgZnO 基日盲紫外探测研究进展 | 第21-26页 |
| ·MgZnO 基日盲紫外探测器依然面临的主要问题及发展趋势 | 第26-27页 |
| ·论文选题依据和研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 MgZnO 合金薄膜及紫外探测器的制备和表征方法 | 第29-43页 |
| ·金属有机化学气相沉积技术 | 第29-33页 |
| ·紫外探测器的制备工艺 | 第33-34页 |
| ·高温退火炉 | 第34-35页 |
| ·MgZnO 薄膜表征和紫外探测器测试方法介绍 | 第35-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 （110）取向立方 MgZnO 外延薄膜及其日盲紫外探测器件 | 第43-57页 |
| ·样品制备 | 第44页 |
| ·光学和结构表征 | 第44-54页 |
| ·日盲紫外探测器的制备及测试 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 亚稳态立方 Mg_(0.3)Zn0_(0.7)O 合金薄膜的制备及其性质的研究 | 第57-79页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O 合金薄膜的制备 | 第58-60页 |
| ·表面形貌、结构和光学特性表征 | 第60-63页 |
| ·亚稳态单相 MgZnO 薄膜生长机制探讨 | 第63-69页 |
| ·立方 Mg_(0.3)Zn_(0.7)O 基紫外探测器的制备及测试 | 第69-71页 |
| ·高 Zn 组分亚稳态立方 MgZnO 薄膜热稳定性研究 | 第71-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第5章 基于立方相 MgZnO 薄膜的高响应度日盲紫外探测器 | 第79-93页 |
| ·薄膜样品制备及表征 | 第79-84页 |
| ·MSM 结构器件制备及性能测试 | 第84-86页 |
| ·高响应度的日盲紫外探测器形成机制探讨 | 第86-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第6章 结论与展望 | 第93-95页 |
| ·全文总结 | 第93-94页 |
| ·展望 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-103页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第103-105页 |
| 指导教师及作者简介 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107页 |
