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激光加工光学系统的优化设计研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-13页
   ·引言第9-10页
   ·扫描振镜系统的工作原理第10页
   ·扫描振镜系统的国内外研究现状第10-12页
   ·课题的目的、意义和主要研究内容第12-13页
2 高功率激光对扫描振镜及外光路的系统要求第13-20页
   ·扫描振镜及外光路系统的结构分析第13-16页
   ·现有扫描振镜的设计缺陷第16-19页
   ·本章小结第19-20页
3 扫描振镜系统的优化设计第20-47页
   ·扫描振镜系统的设计原则第21-22页
   ·振镜反射镜的设计及定位第22-40页
   ·振镜的整体结构及冷却方式的优化设计第40-45页
   ·本章小结第45-47页
4 外光路系统的优化设计与应用第47-69页
   ·外光路系统的整体结构第47-48页
   ·光束准直系统的设计第48-60页
   ·整形及外光路系统的对比分析与设计第60-64页
   ·外光路系统的激光鬼像分析与光路优化第64-68页
   ·本章小结第68-69页
5 全文总结和展望第69-71页
   ·全文总结第69页
   ·研究展望第69-71页
致谢第71-72页
参考文献第72-74页

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