| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 序 | 第8-11页 |
| 1 引言 | 第11-17页 |
| ·背面钝化太阳能电池研究目的与意义 | 第11-12页 |
| ·PERC电池的原理 | 第12-14页 |
| ·背面钝化膜的分类、对比 | 第14-16页 |
| ·课题研究的内容 | 第16-17页 |
| 2 晶硅太阳电池理论说明 | 第17-35页 |
| ·晶硅太阳电池结构 | 第17-18页 |
| ·晶硅太阳能电池重要参数 | 第18-23页 |
| ·短路电流I_(sc) | 第19页 |
| ·开路电压V_(oc) | 第19页 |
| ·最大输出功率 | 第19-20页 |
| ·填充因子FF | 第20-21页 |
| ·光电转换效率η | 第21页 |
| ·少子寿命 | 第21-22页 |
| ·量子效率 | 第22页 |
| ·方块电阻 | 第22-23页 |
| ·晶体硅太阳能电池制造技术 | 第23-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 3 测试仪器原理和应用 | 第35-43页 |
| ·太阳能电池通用测试设备 | 第35-38页 |
| ·四探针方阻仪 | 第35-36页 |
| ·测试分选机 | 第36-37页 |
| ·电池片EL检测仪 | 第37-38页 |
| ·表面形貌测试设备 | 第38-41页 |
| ·椭偏仪 | 第38-39页 |
| ·D8积分式反射仪 | 第39-40页 |
| ·金相光学显微镜 | 第40-41页 |
| ·小结 | 第41-43页 |
| 4 多晶硅太阳能电池背面去结、抛光工艺研究 | 第43-55页 |
| ·工艺描述 | 第43页 |
| ·背面去结、抛光工艺 | 第43-53页 |
| ·背面去结、抛光的意义 | 第43-45页 |
| ·背面去结、抛光工艺研究 | 第45-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 5 多晶硅太阳能电池背面钝化研究 | 第55-75页 |
| ·背面钝化工艺描述 | 第55-56页 |
| ·背钝化薄膜的选择 | 第56-57页 |
| ·PECVD法制备SiON背钝化薄膜PERC电池研究 | 第57-65页 |
| ·薄膜的制备 | 第57-58页 |
| ·SiON背面钝化PERC电池制造及表征 | 第58-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| ·ALD法制备Al_2O_3背钝化薄膜PERC电池研究 | 第65-75页 |
| ·薄膜的制备 | 第65-66页 |
| ·Al_2O_3背面钝化PERC电池制造及表征 | 第66-73页 |
| ·小结 | 第73-75页 |
| 6 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 作者简历 | 第81-85页 |
| 学位论文数据集 | 第85页 |